[发明专利]一种低成本制备TC4钛合金溅射靶材的方法有效
| 申请号： | 202010363354.8 | 申请日： | 2020-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN111441020B | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | 王伟;王萌;蔡军;张卫强;张志波;朱羽;张浩泽;史亚鸣;黄海广;王快社 | 申请（专利权）人： | 西安建筑科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/14;C22F1/18;B21B1/38;B21B3/00;B21B37/00 |
| 代理公司： | 西安恒泰知识产权代理事务所 61216 | 代理人： | 李婷;祁凡雨 |
| 地址： | 710055*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 低成本 制备 tc4 钛合金 溅射 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种低成本制备TC4钛合金溅射靶材的方法，其特征在于，包括以下步骤：
a.将TC4钛合金铸锭使用EB炉熔炼后加热，保温，进行第一次加热处理；
b.将步骤a得到的板材沿其长度方向进行第一火次轧制，轧制道次为1道次，轧制变形量为50％-75％；
c.将步骤b所得的板材加热至与步骤a相同的温度，并保温，进行第二次加热处理；
d.将步骤c所得的板材进行第二火次轧制，轧制方向和步骤b相同，轧制道次为1道次，轧制变形量为17％-55％；
e.将步骤d所得的板材加热至与步骤c相同的温度，保温，进行第三次加热处理；
f.将步骤e所得的板材进行第三火次轧制，轧制方向和步骤b相同，轧制道次为1道次，轧制变形量为17％-45％；
g.将步骤f所得的板材进行退火处理，空冷，得到TC4钛合金溅射靶材；
步骤a、步骤c和步骤e中的保温时间相同；所述TC4钛合金铸锭厚度为8mm-9mm，长度为120mm-125mm，宽度为30mm-35mm；
步骤a中将TC4钛合金铸锭使用EB炉熔炼后加热至800℃-1000℃；
步骤b、d、f均采用单向纵轧的方式进行轧制，所述步骤b、d、f的轧制累积总变形量为86％-90％；
步骤g中退火温度为700℃，退火时间为120min；
步骤g中TC4钛合金溅射靶材厚度为0.8-1.15mm。
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