[发明专利]一种镓掺杂单晶硅用的镓硅合金制作炉及其制作方法

说明书

本发明公开了一种镓掺杂单晶硅用的镓硅合金制作炉，包括制作炉炉体、合金炉、冷凝机及合金接受槽，合金炉包括炉体及石英坩埚、加热器、埚邦及埚托，石英坩埚外设有埚邦，石英坩埚的底端通过中空石墨托杆连接有坩埚升降、转动装置，炉体的底部还设有中空石英锥，炉体的上端设有合金炉惰性气体入口，炉体的下端设有合金炉排气孔；制作炉炉体上表面设有惰性气体入口，制作炉炉体的下表面设有制作炉排气孔；该制作炉结构简单，使用方便，制作镓硅合金的方法简单易行，该镓硅合金的制作有效提高了掺杂加入的可操作性及掺杂及的稳定性，提高了生产效率及掺杂准确性，有效减少了镓金属被污染或掉落流失而引起的质量风险。

技术领域

本发明涉及一种合金的制作方法，具体涉及一种镓掺杂单晶硅用的镓硅合金制作炉及其制作方法，属于光伏制造领域。

背景技术

单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。由于太阳能具有清洁、环保、方便等诸多优势，近三十年来，太阳能利用技术在研究开发、商业化生产、市场开拓方面都获得了长足发展，成为世界快速、稳定发展的新兴产业之一。

单晶硅可以用于二极管级、整流器件级、电路级以及太阳能电池级单晶产品的生产和深加工制造，其后续产品集成电路和半导体分离器件已广泛应用于各个领域，在军事电子设备中也占有重要地位。

在单晶硅中掺入微量的第IIIA族元素，形成P型半导体，掺入微量的第VA族元素，形成N型，N型和P型半导体结合在一起，就可做成太阳能电池，将辐射能转变为电能。

随着传统资源的日益枯竭，新型可替代能源—太阳能电池以其自身绿色、安全及可再生能力的优势，得到了长足发展，高速发展的同时，原有的掺硼单晶硅片由于其稳定性和转化效率较低,已经不能满足市场要求，技术人员通过对太阳能电池制造的第一环节—单晶硅棒的制造环节研究,通过对单晶硅中掺入金属镓,继而达到有效降低甚至去除太阳能硅电池在使用过程中的衰减的目的，但是现掺镓单晶硅拉制加入镓掺杂的主要方法是根据计算镓金属的重量，称量后直接加入石英坩埚或复投石英筒中，因金属镓的熔点只有29.8℃，会出现镓金属被污染或掉落流失的问题；随着单晶炉的尺寸的不断增大，镓金属加入炉内被污染及掉落流失的机率不断增加；因为镓在硅中的分凝系数只有0.08，很难做出镓含量稳定的镓硅合金。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是，克服现有技术的缺点，提供一种镓掺杂单晶硅用的镓硅合金制作炉及其制作方法，该制作炉结构简单，使用方便，制作镓硅合金的方法简单易行，该镓硅合金的制作有效提高了掺杂加入的可操作性及掺杂及的稳定性，提高了生产效率及掺杂准确性，有效减少了镓金属被污染或掉落流失而引起的质量风险。

为了解决以上技术问题，本发明提供一种镓掺杂单晶硅用的镓硅合金制作炉，包括制作炉炉体、设置于制作炉炉体内的合金炉、冷凝机及合金接受槽，合金炉设置于冷凝机的上方，合金接受槽设置于冷凝机的下方，其中：

合金炉包括炉体及设置于炉体内的石英坩埚、加热器、埚邦及埚托，石英坩埚外设有埚邦，埚邦底端设有埚托，埚邦外包围设置有加热器，石英坩埚的底端通过中空石墨托杆连接有坩埚升降、转动装置，炉体的底部还设有中空石英锥，中空石英锥位于中空石墨托杆中，炉体的外表面设有合金炉水冷保护外套，炉体内还设有合金炉保温层，炉体的上端设有合金炉惰性气体入口，炉体的下端设有合金炉排气孔；

制作炉炉体外设置有制作炉水冷保护外套，制作炉炉体上表面设有惰性气体入口，制作炉炉体的下表面设有制作炉排气孔。

本发明进一步限定的技术方案是：

进一步的，前述镓掺杂单晶硅用的镓硅合金制作炉中，合金炉保温层的材料采用碳毡、石墨板。

前述镓掺杂单晶硅用的镓硅合金制作炉中，合金炉保温层的厚度为80-150mm。