[发明专利]测试数据传输稳定性的方法和光刻设备

说明书

本发明提出了一种测试数据传输稳定性的方法和光刻设备，该方法包括：述主机端检测到测试启动指令，循环执行以下步骤；主机端将存储在第一专用内存空间的传输数据发送给FPGA板卡端；主机端读取所述FPGA板卡端接收到的传输数据，并将读取的传输数据存储在第二专用内存空间中，其中，第二专用内存空间与第一专用内存空间的大小相同；主机端比较所述第二专用内存空间与第一专用内存空间的传输数据，确定数据传输的正确性。本发明实施例的测试数据传输稳定性的方法通过设置第一专用内存空间和第二专用内存空间，在进行数据传输时，比较两个内存空间的传输数据，确定传输数据的正确性，实现对数据传输稳定性的测试。

技术领域

本发明涉及数据传输技术领域，尤其是涉及一种测试数据传输稳定性的方法和光刻设备。

背景技术

直写式光刻技术是在感光材料上印制具有特征图像的技术，由数字微镜生成的图案，以一定倍率通过光学元件投影至光敏低的材料上，生成特征图像。空间光调制器的无掩膜光刻方法，凭借其可靠性和灵活性，被更多的应用在PCB(Printed Circuit Board，印制电路板)、MEMS(Micro-Electro-Mechanical System，微电子机械系统)，FTP(FileTransfer Protocol，文件传输协议)等生产领域。

为了实现更精细的曝光效果和更高的光刻机机台产能，数据传输链路起到了重要的作用，在相同时间内，搬运更多的曝光数据，需要采用更新的技术优化数据传输链路。然而，在光刻机领域的高速传输技术中，由于数据传输的正确性难以测试，从而对高速数据传输系统的可靠性和稳定性产生影响。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明的一个目的在于提出一种测试数据传输稳定性的方法，该方法可以测试数据传输的稳定性。

本发明的第二个目的在于提出一种光刻设备。

为了达到上述目的，本发明的第一方面实施例提出了一种测试数据传输稳定性的方法，用于光刻设备的主机端与FPGA板卡端之间的数据传输测试，所述主机端与所述FPGA板卡端通过PCIE(peripheral component interconnect express，高速串行计算机扩展总线标准)接口连接，该方法包括：所述主机端检测到测试启动指令，循环执行以下步骤；所述主机端将存储在第一专用内存空间的传输数据发送给所述FPGA板卡端；所述主机端读取所述FPGA板卡端接收到的所述传输数据，并将读取的所述传输数据存储在第二专用内存空间中，其中，所述第二专用内存空间与所述第一专用内存空间的大小相同；所述主机端比较所述第二专用内存空间与所述第一专用内存空间的传输数据，确定数据传输的正确性。

根据本发明实施例的测试数据传输稳定性的方法，通过设置第一专用内存空间和第二专用内存空间，构建主机端与FPGA板卡端的传输数据线程，可以避免内存空间它用，提高测试的准确定，并在进行数据传输时，通过比较第一专用内存空间和第二内存空间中的传输数据，确定数据传输的正确性，实现主机端与FPGA板卡端之间的数据传输稳定性的测量。

在一些实施例中，在所述主机端将存储在第一专用内存空间的传输数据发送给所述FPGA板卡端之前，所述方法还包括：所述主机端产生随机数；所述主机端根据所述随机数生成所述传输数据；所述主机端将所述传输数据写入所述第一专用内存空间中。

在一些实施例中，在所述主机端产生随机数之前，所述方法还包括：所述主机端修改所述随机数的随机种子。通过修改随机数种子，保证每次产生的随机数不一致，避免出现结果误判。

在一些实施例中，所述方法还包括：所述主机端在每次循环之前，对所述第一专用内存空间进行清空操作。进行清零操作可以保证传输数据的不一致，避免出现结果误判。