[发明专利]一种5G用聚合物的表面处理方法有效
| 申请号： | 202010350044.2 | 申请日： | 2020-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN111662467B | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 廖斌;欧阳潇;王国梁;欧阳晓平;罗军;庞盼;陈琳;张旭;吴先映;英敏菊 | 申请（专利权）人： | 北京师范大学;广东省广新离子束科技有限公司 |
| 主分类号： | C08J3/28 | 分类号： | C08J3/28;C08L79/08;C08L101/12;C08L67/02;C08L27/18 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 刘潇 |
| 地址： | 100875 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 聚合物 表面 处理 方法 | ||
1.一种5G用聚合物的表面处理方法，其特征在于，包括以下步骤：
（1）利用潘宁气体离子源对聚合物的表面进行氧插入，使得聚合物表面的粗糙度Ra变化≤0.1μm，得到第一聚合物；
（2）利用考夫曼气体离子源对所述第一聚合物的表面进行氧加成，使得第一聚合物表面的粗糙度Ra变化≤0.1μm，得到第二聚合物；
（3）利用霍尔源气体离子源对所述第二聚合物的表面进行氢抽离，得到第三聚合物；
（4）当所述第三聚合物的表面粗糙度Ra大于0.4μm或小于0.1μm时，重复进行步骤（1）~（3），直至第三聚合物表面的粗糙度Ra为0.1~0.4μm；
所述聚合物为改性聚酰亚胺MPI。
2.根据权利要求1所述的表面处理方法，其特征在于，步骤（1）中，所述氧插入的氧气流量为5~80sccm，电压为20~40KV，束流强度为1~50mA。
3.根据权利要求1所述的表面处理方法，其特征在于，步骤（2）中，所述氧加成的氧气流量为20~100sccm，电压为10~20KV，束流强度为5~150mA。
4.根据权利要求1所述的表面处理方法，其特征在于，步骤（3）中，所述氢抽离的氩气流量为50~150sccm，电压为0.1~1KV，束流强度为200~1000mA。
5.根据权利要求1或2所述的表面处理方法，其特征在于，当所述第二聚合物的表面电阻高于1015Ω，返回至步骤（1），直至第二聚合物的表面电阻≤1015Ω。
6.根据权利要求1所述的表面处理方法，其特征在于，完成表面处理后的聚合物的介电常数＞3.0，表面水分吸收率＞10%；表面电阻＞1014Ω，表面粗糙度为0.1~0.4μm，亲水角40~80°，5GHZ高频介电损耗≤0.004。
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