[发明专利]一种非磷阻垢缓蚀剂及其制备方法

权利要求书

1.一种非磷阻垢缓蚀剂，其特征在于，所述非磷阻垢缓蚀剂按照质量比，由以下成分组成：改性木质素磺酸盐∶聚天冬氨酸改性物∶聚马来酸酐-2-丙烯酰胺基-2-甲基丙磺酸∶钼酸钠∶葡萄糖酸钠∶水＝1∶(0.45-0.75)∶(0.25-0.55)∶(0.2-0.8)∶(1.3-1.8)∶100。

2.根据权利要求1所述的非磷阻垢缓蚀剂，其特征在于，所述改性木质素磺酸盐选自改性木质素磺酸钠、改性木质素磺酸盐钙。

3.根据权利要求1所述的非磷阻垢缓蚀剂，其特征在于，所述聚天冬氨酸改性物选自聚天冬氨酸-腺嘌呤接枝共聚物、聚天冬氨酸-对羟基苯乙胺共聚物、聚天冬氨酸-3，5-二氨基苯甲酸接枝共聚物。

4.根据权利要求1所述的非磷阻垢缓蚀剂，其特征在于，所述聚马来酸酐-2-丙烯酰胺基-2-甲基丙磺酸以马来酸酐、2-丙烯酰胺基-2-甲基丙磺酸为原料在过二硫酸钾作引发剂的条件下合成。

5.根据权利要求1所述的非磷阻垢缓蚀剂，其特征在于，所述非磷阻垢缓蚀剂按照质量比，由以下成分组成：改性木质素磺酸盐∶聚天冬氨酸改性物∶聚马来酸酐-2-丙烯酰胺基-2-甲基丙磺酸∶钼酸钠∶葡萄糖酸钠∶水＝1∶0.5∶0.3∶0.3∶1.4∶100。

6.根据权利要求1所述的非磷阻垢缓蚀剂，其特征在于，所述非磷阻垢缓蚀剂按照质量比，由以下成分组成：改性木质素磺酸盐∶聚天冬氨酸改性物∶聚马来酸酐-2-丙烯酰胺基-2-甲基丙磺酸∶钼酸钠∶葡萄糖酸钠∶水＝1∶0.5∶0.3∶0.2∶1.4∶100。

7.根据权利要求1所述的非磷阻垢缓蚀剂，其特征在于，所述非磷阻垢缓蚀剂按照质量比，由以下成分组成：改性木质素磺酸盐∶聚天冬氨酸-腺嘌呤接枝共聚物∶聚马来酸酐-2-丙烯酰胺基-2-甲基丙磺酸∶钼酸钠∶葡萄糖酸钠∶水＝1∶0.5∶0.3∶0.3∶1.4∶100。

8.根据权利要求1所述的非磷阻垢缓蚀剂，其特征在于，所述非磷阻垢缓蚀剂按照质量比，由以下成分组成：改性木质素磺酸盐∶聚天冬氨酸-对羟基苯乙胺共聚物∶聚马来酸酐-2-丙烯酰胺基-2-甲基丙磺酸∶钼酸钠∶葡萄糖酸钠∶水＝1∶0.5∶0.3∶0.2∶1.4∶100。

9.根据权利要求1所述的非磷阻垢缓蚀剂，其特征在于，所述非磷阻垢缓蚀剂按照质量比，由以下成分组成：改性木质素磺酸盐∶聚天冬氨酸-3，5-二氨基苯甲酸接枝共聚物∶聚马来酸酐-2-丙烯酰胺基-2-甲基丙磺酸∶钼酸钠∶葡萄糖酸钠∶水＝1∶0.5∶0.3∶0.2∶1.4∶100。

10.如权利要求1～9任一所述的非磷阻垢缓蚀剂的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)按照配比称好原料；

2)先将改性木质素磺酸盐和聚天冬氨酸改性物混合，加入水中；

3)将聚马来酸酐-2-丙烯酰胺基-2-甲基丙磺酸加入到2)所得溶液中；

4)将钼酸钠加入到3)所得溶液中；

5)将葡萄糖酸钠加入到4)所得溶液中，得到所述非磷阻垢缓蚀剂。