[发明专利]汽化容器和方法

权利要求书

1.一种用于汽化容器的托盘，所述托盘包含：

具有被配置成支撑固体试剂的表面的底板；

侧壁；

由所述底板和所述侧壁界定的内部空间；

延伸穿过所述底板的一或多个通孔，所述一或多个通孔在所述底板的表面上方延伸；和

延伸穿过和远离所述底板的中心管道；

其中所述中心管道被配置成与在第一托盘的顶部上或下方堆叠的至少一个其它托盘流体连接，以允许载气流经所述托盘。

2.根据权利要求1所述的托盘，其进一步包含：

沿所述侧壁的内表面定位的一或多个接触部件，其中所述一或多个接触部件中的每一个包含向上延伸超出所述侧壁的顶边缘的弹性部件。

3.根据权利要求2所述的托盘，其中所述弹性部件与所述固体试剂化学相容。

4.根据权利要求1所述的托盘，其中内壁形成所述中心管道，所述内壁界定用于密封件的凹口，且其中所述密封件由被配置成与所述载气和所述试剂化学相容的弹性材料制成。

5.根据权利要求1所述的托盘，其中所述托盘涂布有包含石墨、镍、不锈钢和铝合金中的至少一个的材料或由所述材料制成。

6.一种汽化容器，其包含：

外壳；

位于所述外壳内的第一托盘，所述第一托盘包含：底板、侧壁、延伸穿过所述底板和在所述底板上方延伸的一或多个通孔、延伸穿过和远离所述底板的第一中心管道和用于支撑待汽化的固体试剂的表面；

一或多个托盘，其各自堆叠于所述汽化容器内的所述第一托盘的顶部上或下方，所述第一托盘的所述中心管道与所述一或多个托盘流体连接以允许载气流经所述一或多个托盘。

7.根据权利要求6所述的汽化容器，其中所述一或多个托盘包括第二托盘，所述第二托盘具有与所述第一托盘相同的配置，所述第二托盘的第二中心管道与所述第一托盘的所述第一中心管道对准且流体连接，

其中所述第二托盘经旋转以使得所述第一托盘的所述通孔中没有一个与所述第二托盘的对应通孔重叠。

8.根据权利要求6所述的汽化容器，其中所述一或多个托盘经旋转以使得所述一或多个通孔中没有一个与所述一或多个通孔中的一个的前一位置重叠，以使得所述载气沿所述固体试剂流动。

9.根据权利要求6所述的汽化容器，其进一步包含：

密封件，其与所述第一托盘的所述第一中心管道和所述第二托盘的所述第二中心管道直接流体连接，所述第一托盘包括形成所述中心管道的内壁，且所述密封件直接接触所述内壁和所述第二托盘。

10.根据权利要求6所述的汽化容器，其中所述密封件由被配置成与所述载气和所述试剂化学相容的弹性材料制成。

11.根据权利要求6所述的汽化容器，其中所述第一托盘包括沿所述侧壁的内表面定位的一或多个接触部件，其中所述一或多个接触部件中的每一个包含向上延伸超出所述侧壁的顶边缘的弹性部件。

12.根据权利要求6所述的汽化容器，其中所述汽化容器被配置成提供含有相对于汽化试剂的量等于或小于10百万分率的金属杂质的试剂气体流。