[发明专利]柔性显示面板及其制作方法

权利要求书

1.一种柔性显示面板，包括显示区，所述显示区包括弯折区和非弯折区，其特征在于，所述柔性显示面板包括：

衬底基板；

无机层，设置于所述衬底基板上；

有机填充层，设置于所述无机层上；

源漏极金属层走线，设置于所述有机填充层上，所述源漏极金属层走线包括位于所述弯折区的第一源漏极金属层走线和位于所述非弯折区的第二源漏极金属层走线，所述第一源漏极金属层走线为弯曲状走线；以及

平坦层，设置于所述源漏极金属层走线远离所述衬底基板的一侧；

其中，所述无机层包括：

水氧阻隔层，设置于所述衬底基板上；

缓冲层，设置于所述水氧阻隔层上；

有源层，设置于所述缓冲层上；

第一绝缘层，覆盖所述缓冲层和所述有源层；

第一栅极层走线，设置于所述第一绝缘层上；

第二绝缘层，覆盖所述第一绝缘层和所述第一栅极层走线；

第二栅极层走线，设置于所述第二绝缘层上；以及

层间介质层，覆盖所述第二绝缘层和所述第二栅极层走线；

其中，所述源漏极金属 层走线设置于所述有机填充层上，所述源漏极金属层走线通过贯穿所述第一绝缘层、所述第二绝缘层以及所述层间介质层的第一过孔与所述有源层连接，所述有机填充层位于所述源漏极金属层走线和所述层间介质层之间；

其中，对应于所述弯折区的所述有机填充层在远离所述衬底基板的一侧设置有至少一凹槽结构，所述第一源漏极金属层走线通过所述凹槽结构形成弯曲状走线，所述凹槽结构贯穿所述有机填充层，所述第一源漏极金属层走线位于所述层间介质层、所述有机填充层以及所述平坦层之间。

2.根据权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述凹槽结构的孔径为2um～20um。

3.根据权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述凹槽结构的截面形状包括梯形、长方形、正方形、圆形、菱形或三角形。

4.根据权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述柔性显示面板还包括设置于所述弯折区的第二过孔，所述第二过孔贯穿所述层间介质层、所述第二绝缘层、所述第一绝缘层以及所述缓冲层，所述有机填充层填充于所述第二过孔。

5.一种柔性显示面板的制作方法，所述柔性显示面板包括显示区，所述显示区包括弯折区和非弯折区，其特征在于，包括以下步骤：

S10：提供衬底基板；

S20：在所述衬底基板上形成无机层；

S30：在所述无机层上形成有机填充层，并对所述有机填充层进行图案化处理，以使对应于所述弯折区的所述有机填充层在远离所述衬底基板的一侧形成至少一凹槽结构；

S40:在所述有机填充层上形成源漏极金属层，并对所述源漏极金属层进行图案化处理，以在所述弯折区形成第一源漏极金属层走线，在所述非弯折区形成第二源漏极金属层走线，其中，所述第一源漏极金属层走线通过所述凹槽结构形成弯曲状走线；以及

S50：在所述源漏极金属层走线上形成平坦层；

其中，所述无机层包括：

水氧阻隔层，设置于所述衬底基板上；

缓冲层，设置于所述水氧阻隔层上；

有源层，设置于所述缓冲层上；

第一绝缘层，覆盖所述缓冲层和所述有源层；

第一栅极层走线，设置于所述第一绝缘层上；

第二绝缘层，覆盖所述第一绝缘层和所述第一栅极层走线；

第二栅极层走线，设置于所述第二绝缘层上；以及

层间介质层，覆盖所述第二绝缘层和所述第二栅极层走线；

其中，所述源漏极金属 层走线设置于所述有机填充层上，所述源漏极金属层走线通过贯穿所述第一绝缘层、所述第二绝缘层以及所述层间介质层的第一过孔与所述有源层连接，所述有机填充层位于所述源漏极金属层走线和所述层间介质层之间；

其中，对应于所述弯折区的所述有机填充层在远离所述衬底基板的一侧设置有至少一凹槽结构，所述第一源漏极金属层走线通过所述凹槽结构形成弯曲状走线，所述凹槽结构贯穿所述有机填充层，所述第一源漏极金属层走线位于所述层间介质层、所述有机填充层以及所述平坦层之间。