[发明专利]基于驻极体发电机的放电测试装置及其测试方法有效
| 申请号: | 202010336344.5 | 申请日: | 2020-04-24 |
| 公开(公告)号: | CN111413569B | 公开(公告)日: | 2022-07-29 |
| 发明(设计)人: | 王盛凯;陈思婷;姚沛林 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号: | G01R31/00 | 分类号: | G01R31/00;G01R1/28 |
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 吴梦圆 |
| 地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 基于 驻极体 发电机 放电 测试 装置 及其 方法 | ||
1.一种基于驻极体发电机的放电测试装置,其特征在于,包括:
驻极体发电机,用于输出高压直流脉冲,所述高压直流脉冲的电压和功率与人体携带的静电在电压和电荷量上相似,所述驻极体发电机包括:
发电模块,所述发电模块由上至下依次顺序包括上电极、驻极体、摩擦材料和下电极;以及
整流模块,所述整流模块包括交流输入端和直流输出端,所述整流模块的交流输入端分别通过导线与发电模块的上电极和下电极相连;所述直流输出端通过导线与冲击电容相连;
冲击电容,与驻极体发电机连接形成充电回路;
测试平台,用于连接一被测器件;
火花间隙,与测试平台、冲击电容连接形成放电回路,用于产生稳定波形的浪涌;
其中,在测试过程中,通过冲击电容和火花间隙对驻极体发电机输出的高压直流脉冲进行调控,对被测器件提供模拟人体静电放电测试条件。
2.如权利要求1所述的基于驻极体发电机的放电测试装置,其特征在于,所述测试平台包括测试屏蔽盒和设置于所述测试屏蔽盒内的第一器件固定座;
其中,所述第一器件固定座包括:
绝缘壳体;
管脚卡槽,设置于所述绝缘壳体上,用于插接被测器件;
接线端口,设置于所述绝缘壳体上,用于外部导线与管脚卡槽的连接;
其中,所述测试屏蔽盒的材质为金属,所述测试屏蔽盒上设置有接地接口。
3.如权利要求2所述的基于驻极体发电机的放电测试装置,其特征在于,所述基于驻极体发电机的放电测试装置还包括第二器件固定座和第三器件固定座,分别对应用于冲击电容和火花间隙与所述基于驻极体发电机的放电测试装置内的电路连接;
其中,所述第二器件固定座和第三器件固定座的结构与第一器件固定座相同。
4.如权利要求1所述的基于驻极体发电机的放电测试装置,其特征在于,所述基于驻极体发电机的放电测试装置还包括电压表,所述电压表通过导线与所述冲击电容并联;
其中,所述电压表的量程为50V~10KV。
5.如权利要求1所述的基于驻极体发电机的放电测试装置,其特征在于,所述基于驻极体发电机的放电测试装置还包括放电控制开关,所述放电控制开关设置于所述放电回路中;
其中,所述放电控制开关为触电式按键开关;
其中,所述放电控制开关的耐压性大于冲击电容的击穿电压,所述放电控制开关的绝缘电阻值大于100MΩ;
其中,所述放电控制开关的接触电阻小于1Ω。
6.如权利要求1所述的基于驻极体发电机的放电测试装置,其特征在于,所述冲击电容包括电解电容、非极性或极性薄膜电容、陶瓷电容、电解电容、复合介质电容、玻璃釉电容中的一种或几种;
其中,所述冲击电容的电容值包括1PF~1F;
其中,所述冲击电容的击穿电压包括50V~10KV。
7.如权利要求6所述的基于驻极体发电机的放电测试装置,其特征在于,所述冲击电容包括高压瓷片电容或高压聚丙烯电容。
8.如权利要求1所述的基于驻极体发电机的放电测试装置,其特征在于,所述火花间隙的放电范围包括50V~10KV;
其中,所述火花间隙包括放电针和封装其的绝缘外壳;
其中,所述放电针包括两个金属电极,所述两个金属电极之间的间隙包括1nm~1cm;
其中,所述金属电极的形状包括圆锥形、圆柱形或圆台形;
其中,所述绝缘外壳内真空或者填充空气、氧气、氮气、氢气、二氧化碳、六氟化硫、氦气、氖气、氩气、氪气、氙气中的一种或多种;
其中,所述绝缘外壳的材料包括玻璃、陶瓷、有机高分子中的一种或多种。
9.如权利要求1所述的基于驻极体发电机的放电测试装置,其特征在于,所述火花间隙包括玻璃放电管、气体放电管、半导体放电管中的一种或多种串联或并联。
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