[发明专利]一种LED芯片及其制造方法在审
| 申请号: | 202010334420.9 | 申请日: | 2020-04-24 | 
| 公开(公告)号: | CN111490138A | 公开(公告)日: | 2020-08-04 | 
| 发明(设计)人: | 马拥军;邱伟 | 申请(专利权)人: | 杭州士兰明芯科技有限公司 | 
| 主分类号: | H01L33/08 | 分类号: | H01L33/08;H01L33/20;H01L33/00 | 
| 代理公司: | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人: | 蔡纯;张靖琳 | 
| 地址: | 310018 浙江省杭州市杭州经*** | 国省代码: | 浙江;33 | 
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 led 芯片 及其 制造 方法 | ||
1.一种LED芯片,其中,包括:
衬底;
第一LED结构和第二LED结构,所述第一LED结构和第二LED结构共用所述衬底。
2.根据权利要求1所述的LED芯片,其中,所述第一LED结构包括:
位于所述衬底的第一表面上的第一外延层,所述第一外延层包括由下向上依次设置的第一半导体层、第一发光层和第二半导体层;
第一PN台阶,位于所述第一外延层中,所述第一PN台阶的第一上台阶面为所述第二半导体层,第一下台阶面为所述第一半导体层,所述第一上台阶面和所述第一下台阶面之间连接形成第一PN台阶侧面;
第一电流扩展层,位于所述第二半导体层上,覆盖部分所述第二半导体层;
第一电极,位于所述第一半导体层上,与所述第一半导体层电连接;
第二电极,与所述第一电极彼此隔离,位于所述第一电流扩展层上,通过所述第一电流扩展层与所述第二半导体层电连接;
所述第二LED结构包括:
位于所述衬底的第二表面上的第二外延层,所述第二外延层包括由上向下依次设置的第三半导体层、第二发光层和第四半导体层;
第二PN台阶,位于所述第二外延层中,所述第二PN台阶的第二上台阶面为所述第三半导体层,第二下台阶面为所述第四半导体层,所述第二上台阶面和所述第二下台阶面之间连接形成第二PN台阶侧面;
第二电流扩展层,位于所述第四半导体层下,覆盖部分所述第四半导体层;
第三电极,位于所述第三半导体层下,与所述第三半导体层电连接;
第四电极,与所述第三电极彼此隔离,位于所述第二电流扩展层下,通过所述第二电流扩展层与所述第四半导体层电连接。
3.根据权利要求2所述的LED芯片,其中,所述第一电流扩展层具有第一开口,所述第一开口暴露出部分所述第二半导体层,所述第二电极,通过所述第一开口与所述第二半导体层电连接;
所述第二电流扩展层具有第二开口,所述第二开口暴露出部分所述第四半导体层,所述第四电极通过所述第二开口与所述第四半导体层电连接。
4.根据权利要求3所述的LED芯片,其中,所述第一电极与所述第三电极彼此隔离,所述第二电极与所述第四电极彼此隔离。
5.根据权利要求3所述的LED芯片,其中,所述第一电极与所述第三电极电连接,所述第二电极与所述第四电极电连接。
6.根据权利要求4所述的LED芯片,其中,所述第一LED结构还包括:
第一钝化层,位于所述第一电极和所述第二电极上,覆盖暴露的所述第一电流扩展层、所述第一半导体层、所述第二半导体层以及所述第一PN台阶侧面,所述第一钝化层包括第三开口和第四开口,通过所述第三开口露出所述第一电极,通过所述第四开口露出所述第二电极;
所述第二LED结构还包括:
第二钝化层,位于所述第三电极和所述第四电极下,覆盖暴露的所述第二电流扩展层、所述第三半导体层、所述第四半导体层以及所述第二PN台阶侧面,所述第二钝化层包括第五开口和第六开口,通过所述第五开口露出所述第三电极,通过所述第六开口露出所述第四电极。
7.根据权利要求5所述的LED芯片,其中,所述第一LED结构和所述第二LED结构还包括:
第一导通孔,位于所述第一PN台阶的第一下台阶面和所述第二PN台阶的第二上台阶面,贯穿所述第一半导体层、所述衬底和所述第三半导体层;
第二导通孔,位于所述第一开口和所述第二开口内,贯穿所述第一半导体层、所述第一发光层、所述第二半导体层、所述第一电流扩展层、所述衬底、所述第三半导体层、所述第二发光层、所述第四半导体层和所述第二电流扩展层。
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