[发明专利]一种用于红外焦平面器件铟凹型的模板制备方法

权利要求书

1.一种用于红外焦平面器件铟凹型的模板制备方法，其特征在于包括以下步骤：

1).选取大于1毫米厚的白宝石片，二面清洁处理；垂直放置清洗花篮中，三氯乙烯溶液浸没加热70℃超声波20分钟，乙醚溶液浸没沸腾15分钟，丙酮溶液浸没加热70℃超声波20分钟，无水乙醇溶液浸没加热70℃超声波20分钟，氮气吹干；

2).选择一面涂布14um厚光刻胶，限位曝光和显影得到所需要的列阵图形；

3).列阵图形填镀300～400nm的铬层和1um的金层；

4).列阵图形淀积15～20um的锡层；

5).将上述锡层面上涂布压敏粘结剂，剥离多余锡、金、铬层，丙酮去光刻胶得到锡柱列阵；

6).将上述白宝石片平放在加热板上，温度缓慢升至180℃锡熔为止，再用金属板面触碰锡的顶端，抓住金属板，金属板不要离开锡的熔体向上提起直至变尖，原位不动关闭温度冷却；

7).将上述白宝石片从加热板上取下，面向上平放在烧杯中，70℃加热丙酮溶液清洗二遍各15分钟，用无水乙醇溶液70℃加热过洗15分钟一遍，用氮气吹干。