[发明专利]一种自动调节式闭环气体配比柜

权利要求书

1.一种自动调节式闭环气体配比柜，其特征在于，包括：

第一进口（1），所述第一进口（1）通过第一过滤器（3）连接到平衡阀（5）；

第二进口（2），所述第二进口（2）通过第二过滤器（4）连接到平衡阀（5）；所述平衡阀（5）一路依次连接第一压力传感器（6）、第一流量计（8）、第一流量调节阀（10）和混配阀（12），另一路依次连接第二压力传感器（7）、第二流量计（9）、第二流量调节阀（11）和混配阀（12），所述混配阀（12）的出口依次连接电磁开关阀（13）、第三压力传感器（14）和气体出口（15），所述第三压力传感器（14）和气体出口（15）之间设置气体含量分析仪（18）；

所述第一压力传感器（6）、第二压力传感器（7）和第三压力传感器（14）分别连接控制器（16），所述控制器（16）分别连接触摸屏（17）、气体含量分析仪（18）、第一流量计（8）和第二流量计（9），所述控制器（16）依次连接第一伺服驱动器（19）、第一伺服电机（21）和第一流量调节阀（10），所述控制器（16）依次连接第二伺服驱动器（20）、第二伺服电机（22）和第二流量调节阀（11）；

所述第一流量调节阀（10）或第二流量调节阀（11）设置节流阀体（23），所述节流阀体（23）两端分别设置进气口（24）和出气口（25），内侧上部设置密封台（26），所述密封台（26）上方设置密封垫（27），所述密封台（26）和密封垫（27）中部贴合设置节流柱（28），所述节流柱（28）的上方设置齿轮齿条（29）的齿条，所述齿条的侧面设置齿轮齿条（29）的齿轮，所述齿轮齿条（29）的齿轮连接第一伺服驱动器（19）或第二伺服驱动器（20）。

2.根据权利要求1所述的一种自动调节式闭环气体配比柜，其特征在于，所述平衡阀（5）和第一过滤器（3）之间设置单向阀，所述平衡阀（5）和第二过滤器（4）之间设置单向阀。

3.根据权利要求1所述的一种自动调节式闭环气体配比柜，其特征在于，所述第一压力传感器（6）、第二压力传感器（7）和第三压力传感器（14）的感应头分别伸入到管路中。

4.根据权利要求1所述的一种自动调节式闭环气体配比柜，其特征在于，所述节流柱（28）的下方为倒锥体。

5.根据权利要求1所述的一种自动调节式闭环气体配比柜，其特征在于，所述密封台（26）和密封垫（27）的中部分别设置大小相同的同心孔。

6.根据权利要求1所述的一种自动调节式闭环气体配比柜，其特征在于，所述密封垫（27）为环形圈。

7.根据权利要求1所述的一种自动调节式闭环气体配比柜，其特征在于，所述节流柱（28）为圆柱体。

8.根据权利要求1所述的一种自动调节式闭环气体配比柜，其特征在于，所述密封台（26）的下平面分别同进气口（24）和出气口（25）的上平面共面。

9.根据权利要求1所述的一种自动调节式闭环气体配比柜，其特征在于，所述进气口（24）和出气口（25）的下平面共面。

10.根据权利要求1所述的一种自动调节式闭环气体配比柜，其特征在于，所述气体含量分析仪（18）为二氧化碳含量分析仪、氩气含量分析仪、氮气含量分析仪、氧气含量分析仪中的一种。