[发明专利]软膜辊压机和纳米压印机

权利要求书

1.一种用于纳米压印的软膜辊压机，其特征在于，所述软膜辊压机包括：

模板固定平台，所述模板固定平台上设置有产品放置机构，所述产品放置机构用于放置待压印的产品；

第一软膜张紧装置，位于所述模板固定平台的一端，并包括用于夹持软膜的一端的第一夹持机构；

第二软膜张紧装置，位于所述模板固定平台的与所述第一软膜张紧装置相对的另一端，所述第二软膜张紧装置包括第二夹持机构、张紧控制机构和升降控制机构，所述第二夹持机构用于夹持所述软膜的另一端，所述张紧控制机构连接至所述第二夹持机构、并通过张紧控制对所述第二夹持机构施加斜上向的作用力，从而控制所述第二夹持机构斜向上的移动，以张紧被所述第二夹持机构所夹持的软膜，所述升降控制机构位于所述张紧控制机构下方并用于控制所述第二夹持机构和所述张紧控制机构的升降；

辊压装置，位于所述模板固定平台的上方，包括用于将被张紧的所述软膜辊压于所述模板固定平台上的辊压轮。

2.根据权利要求1所述的软膜辊压机，其特征在于，所述张紧控制机构包括支架、导向杆和张紧力施加构件，所述支架具有相对于所述模板控制平台的平面倾斜布置的斜面部分，所述张紧力施加构件的一端连接至所述斜面部分、另一端连接至所述第二夹持机构，所述导向杆设置在所述斜面部分与所述第二夹持机构之间并与所述斜面部分垂直，从而用于控制所述第二夹持机构的运动导向。

3.根据权利要求2所述的软膜辊压机，其特征在于，所述张紧力施加构件为气缸，所述气缸穿过所述斜面部分与所述第二夹持机构连接。

4.根据权利要求3所述的软膜辊压机，其特征在于，所述张紧控制机构设置于一底板上，所述升降控制机构位于所述底板下方并连接至所述底板。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的软膜辊压机，其特征在于，所述产品放置机构中设置有吸附沟槽，并且在所述模板固定平台的与所述产品放置机构相对的另一面上设置有空气吸附装置，从而能够将待压印的产品通过所述吸附沟槽吸附在所述模板固定平台上。

6.根据权利要求5所述的软膜辊压机，其特征在于，所述产品放置机构周围设置有呈阵列布置的吸附孔，从而能够将所述软膜通过所述吸附孔吸附在所述模板固定平台上。

7.根据权利要求1至4中任一项所述的软膜辊压机，其特征在于，所述辊压装置包括辊压轮预压机构，所述辊压轮预压机构连接至所述辊压轮并控制所述辊压轮的上下垂直移动，所述辊压轮预压机构通过弹性件与所述辊压轮实现弹性连接。

8.根据权利要求1至4中任一项所述的软膜辊压机，其特征在于，所述软膜辊压机进一步包括软膜平移机构，所述软膜平移机构通过导轨控制所述第一软膜张紧装置和所述第二软膜张紧装置的水平移动，从而带动软膜的水平移动。

9.一种纳米压印机，其特征在于，包括光源及控制装置以及如权利要求1至8中任一项所述的软膜辊压机。

10.根据权利要求9所述的纳米压印机，其特征在于，所述光源及控制装置连接至所述软膜压印机的所述辊压轮预压机构，并通过相同的横移控制机构来同时控制两者的横向移动，从而在辊压轮辊压软膜之后紧接着进行光源照射和固化。