[发明专利]旋转无尘室容器的方法和夹持器总成

说明书

本发明公开一种用于夹持无尘室容器的夹持器总成，包括：夹持器，其经调适以夹持无尘室容器；提升单元，包括用于提升该夹持器的第一马达；至少一缆线，其将该夹持器连接该提升单元，该至少一缆线是由该第一马达所驱动；第二马达，其用于该夹持器的至少一部分相对于该提升单元环绕垂直轴而旋转；该夹持器包括接合元件，该提升单元包括互补接合元件，互补接合元件经调适接合于接合元件以避免该夹持器相对于该提升单元环绕垂直轴而旋转；该夹持器包括上夹持器元件和下夹持器元件；该下夹持器元件经调适以支撑无尘室容器的顶部凸缘；该下夹持器元件包括穿过无尘室容器的上凸缘的开口，以及至少一个至少部分围绕该开口而形成的凹口。

技术领域

本发明是关于一种用于旋转类似晶圆传送盒(FOUP)或晶圆出货盒(FOSB)或者倍缩光罩容器的无尘室容器的方法和夹持器。

背景技术

FOUP是前开式联合晶圆传送盒或前开式通用晶圆传送盒(Front OpeningUnified Pot)的缩写。这种FOUP是用来在晶圆厂中运输晶圆。半导体晶圆是以水平方式放置并且在FOUP中被垂直地堆叠。FOUP为本技术领域的人士所众知，从而无须在此进一步详细描述。

在用于制造半导体电路的晶圆厂中，FOUP可能需要以人工方式运送。为维持无尘室的状态，较佳地是以适当的运输系统来自动地传送FOUP。这种运输系统可配备有架空轨道，并于其上设置有助于拉抬FOUP的提升系统。此提升系统可包括马达，该者可驱动多个承桶，这些承桶缠绕有连接至实际夹持器的缆线。该夹持器可抓持FOUP以进行提升，并且可在FOUP降低到适当位置之后释放FOUP。

FOSB为一种前开式晶圆出货盒(Front Open Shipping Box)，是用于将晶圆自晶圆厂运输到无尘室以外的其他位置。倍缩光罩容器可容纳至少一个倍缩光罩。

然而，先前技艺的提升系统无法旋转无尘室容器。

发明内容

本发明是在于提供一种能够旋转无尘室容器的方法以及夹持器总成。

本发明可通过夹持器总成及其使用方法所达成。

本发明公开一种夹持器总成的使用方法，该夹持器总成的使用方法用于旋转无尘室容器，包括下列步骤：将夹持器降低至无尘室容器，其中该夹持器连接至至少一缆线。该方法进一步包括通过夹持器来抓夹该无尘室容器的步骤。该无尘室容器通过该至少一缆线，通过一第一马达，被提升到提升单元，其中该至少一缆线连接至该提升单元。该夹持器通过该夹持器的接合元件将该提升单元接合于该提升单元的互补接合元件。然后，该夹持器所夹持的无尘室容器进行旋转。

在一实施例中，该夹持器可包括上夹持器元件和下夹持器元件，其中该下夹持器元件是相对于该上夹持器元件而旋转。

另一实施例中，该提升单元可包括两个元件，其中一下提升单元元件是相对于一上提升单元元件而旋转。

由于夹持器接合于该提升单元，而此者连接至一头上运输系统、高架等等，因此能够将力矩自该夹持器传递至该提升装置，并且自该提升装置传送至该提升装置所接附的装置，像是高架或头上轨道系统。该力矩不可能在连接至该提升单元和该夹持器的多个条缆线上传递，以拉升及放低该夹持器和该无尘室容器。

本发明的优点在于可旋转无尘室容器，并且无尘室容器无须以人工方式旋转，或是通过连接至半导体制造设备或无尘室容器储存设备等等的个别旋转装置来旋转。

该无尘室容器可为FOUP、FOSB或是倍缩光罩容器。这些装置为本技术领域的人士所众知，从而无须在此进一步详细描述。

该方法进一步包括该夹持器接合于该提升单元的步骤，其中在放低该夹持器的步骤之前，该夹持器并未抓握无尘室容器。在此之后，旋转该夹持器的至少一部分。该夹持器中旋转的部分可为实际地抓握该无尘室容器的部分。这些步骤可确保将该夹持器定位在正确位置处以供抓取无尘室容器。