[发明专利]一种联产高纯电子级氟化氢与氟化碳的生产工艺

权利要求书

1.一种联产高纯电子级氟化氢与氟化碳的生产工艺，其特征在于，包括以下步骤：

(1)将碳氢化合物或含氢氟烃类化合物与氟气分别经稀释气体稀释后通入反应器中进行反应，控制反应温度为50～550℃，反应压力为0.1～10Mpa；所述反应器为微管束列管式反应器或微通道反应器中的一种；

(2)反应完成后，用木炭除去产物中未完全反应的氟气，冷凝收集产物中的氟化氢，剩余产物粗品依次经过碱洗、水洗、冷冻、吸附和精馏后得到高纯电子级氟化碳；

(3)经冷凝收集后的氟化氢液体经过反应精馏后得到高纯电子级氟化氢。

2.根据权利要求1所述的一种联产高纯电子级氟化氢与氟化碳的生产工艺，其特征在于，步骤(1)中碳氢化合物或氢氟烃类化合物与稀释气体的体积比为1:1-20。

3.根据权利要求1所述的一种联产高纯电子级氟化氢与氟化碳的生产工艺，其特征在于，步骤(1)中氟气体积浓度为5～100％。

4.根据权利要求1所述的一种联产高纯电子级氟化氢与氟化碳的生产工艺，其特征在于，步骤(1)中碳氢化合物或氢氟烃类化合物的起始体积浓度为5～100％。

5.根据权利要求1所述的一种联产高纯电子级氟化氢与氟化碳的生产工艺，其特征在于，氟气与碳氢化合物或氢氟烃类化合物的体积比为1-10:10-1。

6.根据权利要求1所述的一种联产高纯电子级氟化氢与氟化碳的生产工艺，其特征在于，步骤(1)中稀释气体为惰性气体或目标产物气体中的一种。

7.根据权利要求1所述的一种联产高纯电子级氟化氢与氟化碳的生产工艺，其特征在于，步骤(1)中碳氢化合物或氢氟烃类化合物经稀释气体稀释后的反应浓度可达50％。

8.根据权利要求1所述的一种联产高纯电子级氟化氢与氟化碳的生产工艺，其特征在于，步骤(1)中碳氢化合物为甲烷、乙烷、丙烷、丁烷、戊烷、己烷、庚烷、辛烷、萘烷、甲基环己烷或丁基环己烷中的一种。

9.根据权利要求1所述的一种联产高纯电子级氟化氢与氟化碳的生产工艺，其特征在于，步骤(2)所述产物包括一氟甲烷、二氟甲烷、四氟甲烷、六氟乙烷、八氟丙烷、全氟丁烷、全氟戊烷、全氟己烷、全氟庚烷、全氟辛烷、全氟萘烷、全氟环己烷、全氟甲基环己烷、全氟丁基环己烷、部分氟化烃类和氟化氢。

10.根据权利要求1所述的一种联产高纯电子级氟化氢与氟化碳的生产工艺，其特征在于，步骤(3)中所述反应精馏是利用鼓泡和喷淋相结合的方式实现氟化氢与氟气反应以高效去除水或其他难除杂质。