[发明专利]一种压电式MEMS麦克风有效
| 申请号： | 202010300029.7 | 申请日： | 2020-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN111405441B | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 段炼;张睿 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04;H04R7/18 |
| 代理公司： | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 | 代理人： | 袁文英 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 压电 mems 麦克风 | ||
1.一种压电式MEMS麦克风，包括：具有背腔的基底和设置在所述基底上的压电振膜，所述压电振膜包括位于中间位置的悬置部和环绕所述悬置部并与所述基底固定连接的基底固定部，其特征在于，所述压电振膜还包括连接所述基底固定部和所述悬置部的支撑部，所述悬置部通过所述支撑部悬置于所述背腔上方，所述压电式MEMS麦克风还包括固定于所述悬置部的限位结构，所述悬置部包括由所述限位结构围设形成的中部膜以及自所述中部膜边缘朝向所述基底延伸形成的周部膜，所述限位结构与所述中部膜形成所述压电振膜的固定结构，所述周部膜设有沿振动方向贯穿其上的开口，所述开口自所述周部膜的边缘延伸至所述中部膜，所述支撑部自所述基底固定部延伸并通过所述开口与所述中部膜连接。
2.根据权利要求1所述的压电式MEMS麦克风，其特征在于，所述悬置部与所述基底固定部间隔设置形成第一透气缝，所述支撑部自所述基底固定部朝向所述悬置部延伸至与所述悬置部连接。
3.根据权利要求2所述的压电式MEMS麦克风，其特征在于，所述开口为若干个，若干个所述开口间隔设置，所述周部膜包括位于相邻所述开口间的若干个周部子膜。
4.根据权利要求3所述的压电式MEMS麦克风，其特征在于，所述第一透气缝位于所述基底固定部与所述周部子膜之间，所述周部子膜与所述支撑部间隔形成第二透气缝，所述第一透气缝与所述第二透气缝连通。
5.根据权利要求4所述的压电式MEMS麦克风，其特征在于，所述限位结构包括若干个环绕所述压电振膜的中心呈环形设置且相互间隔的限位件，若干所述限位件与若干个所述周部子膜一一对应设置。
6.根据权利要求5所述的压电式MEMS麦克风，其特征在于，所述限位件为圆弧形，若干所述限位件环绕所述压电振膜的中心呈圆环形设置。
7.根据权利要求1所述的压电式MEMS麦克风，其特征在于，所述限位结构以所述压电振膜的中心为环心呈环形结构设置。
8.根据权利要求1所述的压电式MEMS麦克风，其特征在于，所述限位结构以所述压电振膜的中心为圆心呈圆环形结构设置。
9.根据权利要求1所述的压电式MEMS麦克风，其特征在于，所述限位结构以所述压电振膜的中心为圆心呈圆形结构设置。
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