[发明专利]一种光罩及其制备方法

说明书

本申请公开了一种光罩及其制备方法，其包括光罩本体；散热层，设于所述光罩本体表面；反射层，设于所述散热层上。本发明提供一种光罩及其制备方法，在光罩本体上设置一层散热层，能够降低汞灯长时间照射造成的光罩温度的上升，提高产品的良率；另一方面，在散热层上设置一层反射层，可以根据需要设置反射层通过特定波长的光，能够反射掉汞灯发射出的没有固化作用波段的紫外光和对操作者的眼睛有损伤的可见光。

技术领域

本申请涉及显示面板技术领域，尤其涉及一种光罩及其制备方法。

背景技术

现行OLED封装制程中紫外光固化使用高压汞灯，高压泵灯产生的紫外光看上去亮度很亮，热量很高，其实它的光谱很宽，真正在有效固化作用的紫外光谱段只占其一部分的能量，有相当大一部分是在可见光段和产生热量，对操作者的眼睛损伤严重，并且容易使有机功能层劣化，且汞灯长时间照射产生的热量使环境温度及光罩温度上升，对产品造成不良影响。

因此，确有必要来开发一种新型的光罩，以克服现有技术的缺陷。

发明内容

本发明的一个目的是提供一种光罩，其能够解决现有技术中封装制程中紫外光固化使用高压汞灯时产生的对操作者的眼睛损伤严重，并且容易使有机功能层劣化的问题。

为实现上述目的，本发明提供一种光罩，其包括光罩本体；散热层，设于所述光罩本体表面；反射层，设于所述散热层上。

在光罩本体上设置一层散热层，能够降低汞灯长时间照射造成的光罩温度的上升，提高产品的良率；另一方面，在散热层上设置一层反射层，可以根据需要设置反射层通过特定波长的光，能够反射掉汞灯发射出的没有固化作用波段的紫外光和对操作者的眼睛有损伤的可见光。

进一步的，在其他实施方式中，其中所述光罩本体的材料采用石英。

进一步的，在其他实施方式中，其中所述散热层的材料采用透明石墨烯。

进一步的，在其他实施方式中，其中所述散热层的透光率大于90％。

进一步的，在其他实施方式中，其中所述反射层采用分布式布拉格反射镜，所述反射层反射波长范围在0-350nm和370nm-400nm的光。在其他实施方式中，所述反射层也可以通过设置膜厚来设置反射其他波长范围的光，可随需要而定，在此不做限定。

进一步的，在其他实施方式中，其中根据需求在所述反射层上设置图案层。

为实现上述目的，本发明还提供一种备方法，用以制备本发明涉及的所述光罩，所述制备方法包括以下步骤：提供一光罩本体，制备散热层于所述光罩本体表面；制备反射层于所述散热层上。

进一步的，在其他实施方式中，其中，制备反射层的步骤后还包括制备图案层于所述反射层上。

进一步的，在其他实施方式中，其中，通过喷墨打印方法或化学气相沉积方法制备所述散热层于所述光罩本体上。

进一步的，在其他实施方式中，其中所述喷墨打印方法制备所述散热层包括将透明石墨烯材料与溶剂形成溶液，以喷墨方式打印在所述光罩本体表面。

进一步的，在其他实施方式中，其中所述化学气相沉积方法制备所述散热层包括将碳氢气体吸附在具有催化活性的金属表面，通过高温加热使得所述碳氢气体脱氢，制得石墨烯散热层。

进一步的，在其他实施方式中，其中所述碳氢气体采用乙炔或乙烯，具有催化活性的金属采用铜金属或镍金属。

进一步的，在其他实施方式中，其中通过镀膜沉积方式制备反射层于所述散射层上。