[发明专利]一种陶瓷粉体、掩膜版及其制作方法

权利要求书

1.一种陶瓷粉体，其特征在于，所述陶瓷粉体由以下重量份数的原料组成：

Al₂O₃ 45份、AlN 3.5份、SiC 1.2份、SiO₂ 5.2份、TiO₂ 6份、ZrO₂ 2.4份、ZnO 1份、稀土氧化物0.22份；

所述稀土氧化物为La₂O₃、Y₂O₃按重量比1：0:03-0.15复合而成。

2.一种掩膜版，其特征在于，包括掩膜版本体、结合层和陶瓷涂层，所述陶瓷涂层为权利要求1所述的陶瓷粉体通过等离子体喷涂的方式沉积而成；

结合层厚度为0.1-0.5μm，陶瓷涂层的厚度为4-10μm；

结合层为结合粉体通过离子体喷涂的方式沉积在掩膜版本体表面而成；

掩膜版本体为Invar 36合金制造而成；

结合粉体由Cr₂O₃、Al₂O₃、CoO₂按重量比7-10：1：0.1-0.2混合而成；

所述掩膜版的制作方法，具体如下：

S1：对掩膜版本体表面进行粗化处理并将其固定在等离子喷涂设备的工作台上；

S2：用氩气置换等离子喷涂设备内的空气，再用流量50-60L/min的氩气对喷枪通气30-40S，利用等离子焰流将掩膜版本体预热至650-700℃后，开始送入结合粉体进行一次喷涂，一次喷涂参数如下：喷枪功率60-80kW，喷涂电流为350-400A，氩气流量3.5-3.8m³/h，喷涂距离80-100mm，送粉量10-15g/min；

S3：将一次喷涂后的半成品掩膜版取出，转移至热处理设备中，以15-25℃/min的速度升温至300-400℃并保温1-5h后自然恢复室温；

S4：将热处理后的半成品掩膜版固定在等离子喷涂设备的工作台上，用氩气置换等离子喷涂设备内的空气，再用流量50-60L/min的氩气对喷枪通气30-40s，利用等离子焰流将半成品掩膜版预热至800-900℃后，送入陶瓷粉体进行二次喷涂，二次喷涂参数如下：喷枪功率60-80kW，喷涂电流为350-400A，氩气流量4-4.2m³/h，喷涂距离50-60mm，送粉量40-50g/min；

S5：二次喷涂结束，自然冷却至室温，得到掩膜版成品。