[发明专利]信息处理装置、预测判别系统以及预测判别方法

权利要求书

1.一种预测判别系统，其特征在于，具备：

因果模型推定部，将包含从输出测量数据的判别对象得到的说明变量、目的变量、和制造ID的所述测量数据作为输入，来推定表示所述说明变量与所述目的变量之间的关系性的一个或多个因果模型；

评价部，使用表示针对所述目的变量的预测或判别的性能的指标来评价所述一个或多个因果模型，并输出该评价的结果满足给定的条件的因果模型；

编辑部，将所述评价部输出的因果模型、和所述评价的结果输出到显示部；和

模型有效利用部，从所述评价部取得所述评价的结果满足给定的条件的因果模型、和成为该因果模型的输入的测量数据中所包含的制造ID，在从所述判别对象取得的测量数据中提取制造ID与所述制造ID相同的数据，将提取的该数据同满足所述给定的条件的因果模型一起输出到显示部。

2.根据权利要求1所述的预测判别系统，其特征在于，

所述预测判别系统由如下装置构成：

第1装置，蓄积从所述判别对象输出的测量数据；

第2装置，具有所述因果模型推定部、所述评价部、和所述编辑部；

第3装置，取得从所述判别对象输出的测量数据，且具有所述模型有效利用部；

显示装置，具有成为所述编辑部的输出目的地的所述显示部；和

输出装置，成为所述模型有效利用部的输出目的地。

3.一种预测判别方法，预测或判别作为判别对象的制造装置中的异常，其特征在于，

因果模型推定部将包含从输出测量数据的所述判别对象得到的说明变量、目的变量、和制造ID的所述测量数据作为输入，来推定表示所述说明变量与所述目的变量之间的关系性的一个或多个因果模型，其中，所述说明变量包含所述制造装置的设定参数和感测数据，所述目的变量表示所述制造装置有无异常，

评价部使用表示针对所述目的变量的预测或判别的性能的指标来评价所述一个或多个因果模型，并输出该评价的结果满足给定的条件的因果模型，

编辑部将所述评价部输出的因果模型、和所述评价的结果输出到显示部，

模型有效利用部从所述评价部取得所述评价的结果满足给定的条件的因果模型、和成为该因果模型的输入的测量数据中所包含的制造ID，在从所述判别对象取得的测量数据中提取制造ID与所述制造ID相同的数据，将提取的该数据同满足所述给定的条件的因果模型一起输出到显示部。