[发明专利]一种加料装置、拉晶炉及加料方法有效

专利信息
申请号: 202010280241.1 申请日: 2020-04-10
公开(公告)号: CN111455452B 公开(公告)日: 2021-11-30
发明(设计)人: 潘浩 申请(专利权)人: 西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 代理人: 刘长春
地址: 710000 陕西省西安市*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 加料 装置 拉晶炉 方法
【权利要求书】:

1.一种加料装置,其特征在于,包括:

上下贯通的第一加料管;

牵引件,穿过所述第一加料管;

送料件,设置于所述第一加料管内,且所述送料件环绕所述牵引件呈螺旋方式设置;

可收缩和展开的散料组件,沿所述牵引件轴向转动连接至所述牵引件上,且位于所述送料件的下方;

所述加料装置还包括保护套管,套设于所述牵引件上,所述保护套管上设置有进气口,且从所述保护套管的第一端至第二端还设置有若干排气孔;

所述散料组件包括可收缩和展开的散料件、可收缩和展开的二次散料件,其中,

所述散料件位于所述二次散料件的上方,所述散料件的第一端环绕所述牵引件且沿所述牵引件轴向转动连接至所述牵引件上,所述散料件的第二端转动连接至所述二次散料件上,所述二次散料件的第一端环绕所述牵引件且沿所述牵引件轴向转动连接至所述牵引件上。

2.根据权利要求1所述的加料装置,其特征在于,所述送料件活动设置于所述第一加料管内,且所述送料件环绕所述保护套管呈螺旋方式固定设置于所述保护套管上。

3.根据权利要求1所述的加料装置,其特征在于,所述送料件固定设置于所述第一加料管的内壁上。

4.根据权利要求1所述的加料装置,其特征在于,还包括倒锥形的物料环,所述物料环的第一端固定设置于所述第一加料管的内壁上且位于所述送料件的上方。

5.根据权利要求1所述的加料装置,其特征在于,所述散料件包括若干第一散料板,所述二次散料件包括若干二次散料板,其中,

所述若干第一散料板的第一端环绕所述牵引件且呈间隔方式沿所述牵引件轴向转动连接至所述牵引件上,所述若干二次散料板的第一端环绕所述牵引件且呈间隔方式沿所述牵引件轴向转动连接至所述牵引件上,每个所述第一散料板的第二端均通过转轴对应连接至一所述二次散料板上。

6.根据权利要求1所述的加料装置,其特征在于,所述散料组件还包括伸缩件,所述伸缩件的两端分别连接至所述二次散料件的底端。

7.一种拉晶炉,其特征在于,包括权利要求1至6任一项所述的加料装置。

8.一种加料方法,其特征在于,利用权利要求1至6任一项所述的加料装置进行加料,所述加料方法包括:

将加料装置安置于距离熔液液面第一距离的拉晶炉的副炉室中;

按照第一预设方式或者第二预设方式将待输送材料输送至坩埚中,其中,所述第一预设方式为先将所述牵引件和所述散料组件向下移动至距离所述熔液液面第二距离的位置,再旋转所述牵引件和所述散料组件,所述第二预设方式为向下移动所述牵引件和所述散料组件的同时旋转所述牵引件和所述散料组件。

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