[发明专利]马赫－曾德调制器及光调制装置

说明书

本发明提供一种马赫－曾德调制器和光调制装置，马赫－曾德调制器具备：第一支路波导；第二支路波导；导电性区域，将所述第一支路波导及所述第二支路波导相互连接；差动传送路径，包括基准电位用的第三金属体和与所述第一支路波导及所述第二支路波导分别连接的第一金属体及第二金属体；及电容器，连接在所述导电性区域与所述第三金属体之间。

技术领域

本公开涉及马赫－曾德调制器及光调制装置。

背景技术

美国专利9069223号公报涉及马赫－曾德光调制器。

发明内容

美国专利9069223号公报公开了包含具有多个接地面的带状线的马赫－曾德光调制器、及经由特性阻抗而连接于带状线的驱动电路。马赫－曾德光调制器经由传送路径接受差动信号。差动信号由驱动电路生成，经由驱动电路的输出端的特性阻抗向马赫－曾德光调制器的传送路径赋予。

要求提供一种能够降低共模的马赫－曾德调制器及光调制装置。

本公开的一方面的马赫－曾德调制器具备：第一支路波导；第二支路波导；差动传送路径，包括第一金属体及第二金属体和基准电位用的第三金属体，所述第一金属体及所述第二金属体与所述第一支路波导及所述第二支路波导分别连接；导电性区域，将所述第一支路波导及所述第二支路波导相互连接；及电容器，连接在所述导电性区域与所述第三金属体之间。

本公开的另一方面的光调制装置具备：马赫－曾德调制器；驱动所述马赫－曾德调制器的集电极开路型的差动型驱动电路；及经由所述马赫－曾德调制器的所述第一金属体及所述第二金属体而连接于所述差动型驱动电路的终端器。

本公开的上述的目的及其他的目的、特征以及优点根据参照附图而推进的本公开的优选的实施方式的以下的详细的记述而更容易理解。

如以上说明所述，根据本公开的一方面，能够提供一种能够降低共模的马赫－曾德调制器。根据本公开的另一方面，能够提供一种包含该马赫－曾德调制器的光调制装置。

附图说明

图1是示意性地表示本实施方式的(包含马赫－曾德调制器、驱动电路及终端器的)光调制装置的附图。

图2A是示意性地表示本实施方式的马赫－曾德调制器的俯视图。

图2B是沿图2A的IIb-IIb线取得的剖视图。

图3是将图2A所示的虚线BX1放大的放大图。

图4A是沿图3所示的IVa-IVa线取得的剖视图。

图4B是沿图3所示的IVb-IVb线取得的剖视图。

图5是将图2A所示的虚线BX2放大的放大图。

图6A是沿图5所示的VIa-VIa线取得的剖视图。

图6B是沿图5所示的VIb-VIb线取得的剖视图。

图7是表示实施例的马赫－曾德调制器的共模的反射特性的附图。

图8A、图8B及图8C是表示输入段的信号线及接地线的排列的变换的附图。

图9A是沿图3所示的IXa-IXa线取得的剖面，是表示通过制作本实施方式的马赫－曾德调制器的方法制作的马赫－曾德调制器的附图。

图9B是表示沿图3所示的IXb-IXb线取得的剖面的附图。

图10A及图10B是表示制作本实施方式的马赫－曾德调制器的方法的主要的工序的附图。

图11A及图11B是表示制作本实施方式的马赫－曾德调制器的方法的主要的工序的附图。