[发明专利]大口径反射镜的加工装调装置及方法

权利要求书

1.一种大口径反射镜的加工装调装置，其特征在于，包括：

背向柔性支撑结构，其沿大口径反射镜的圆周方向均布设置，用于对所述大口径反射镜的背面进行柔性支撑；

背向刚性支撑结构，其数量与所述背向柔性支撑结构的数量相同，用于对所述背向柔性支撑结构进行刚性支撑；

侧向柔性支撑结构，其数量为至少两个，用于对所述大口径反射镜的侧面进行柔性支撑；

侧向刚性支撑结构，其数量与所述侧向柔性支撑结构的数量相同，用于对所述侧向柔性支撑结构进行刚性支撑；

应力状态测试传感器，分别安装在所述大口径反射镜上位于各背向柔性支撑结构两侧和各侧向柔性支撑结构两侧的应力状态监测点处，用于监测所述大口径反射镜背面和侧面的应力状态；

应变测量仪，用于记录各应力状态测试传感器的监测数据。

2.根据权利要求1所述的大口径反射镜的加工装调装置，其特征在于，所述背向柔性支撑结构的数量为三个、六个或九个。

3.根据权利要求1所述的大口径反射镜的加工装调装置，其特征在于，所述侧向柔性支撑结构的数量为三个。

4.根据权利要求1-3中任意一项所述的大口径反射镜的加工装调装置，其特征在于，所述应力状态测试传感器为粘贴预埋式应变片或压电式应变传感器。

5.根据权利要求4所述的大口径反射镜的加工装调装置，其特征在于，所述粘贴预埋式应变片为三向应变片。

6.如权利要求1所述的大口径反射镜的加工装调装置的加工装调方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1、将各背向柔性支撑结构和各侧向柔性支撑结构分别支撑在待加工的大口径反射镜的背面和侧面，以及将应力状态测试传感器分别安装在所述大口径反射镜的各应力状态监测点处；

S2、通过各应力状态测试传感器及应变测量仪监测记录所述大口径反射镜在研磨抛光后各应力状态监测点的应力状态，记为第一测量值；

S3、通过各应力状态测试传感器及应变测量仪监测记录经过研磨抛光的大口径反射镜在镀膜后各应力状态监测点的应力状态，记为第二测量值；其中，在镀膜前拆除各背向柔性支撑结构和各侧向柔性支撑结构，在镀膜后重新安装各背向柔性支撑结构和各侧向柔性支撑结构；

S4、调整各背向柔性支撑结构及各侧向柔性支撑结构的预紧载荷，使所述第二测量值与所述第一测量值保持一致。

7.根据权利要求6所述的大口径反射镜的加工装调方法，其特征在于，在步骤S4中，结合光学干涉法对所述大口径反射镜的面形进行检测，在所述大口径反射镜的面形未达到预设精度时，重新调整各背向柔性支撑结构及各侧向柔性支撑结构的预紧载荷，直到所述大口径反射镜的面形达到预设精度为止。

8.根据权利要求6所述的大口径反射镜的加工装调方法，其特征在于，在所述步骤S4之后还包括如下步骤：

S5、将所述大口径反射镜安装于镜筒内，通过各应力状态测试传感器及所述应变测量

仪再次监测记录所述大口径反射镜各应力状态监测点的应力状态。