[发明专利]一种直排串联真空泵组

权利要求书

1.一种直排串联真空泵组，其特征在于，包括三轴模块化干式真空泵(1)、真空泵驱动电机(2)、前级真空泵装置(3)、三通管道(4)和弹簧式单向阀(8)，所述真空泵驱动电机(2)与三轴模块化干式真空泵(1)的中泵轴传动连接，所述三通管道(4)三个端口中的一个端口处设置有弹簧式单向阀(8)，三通管道(4)的另外两个端口分别与三轴模块化干式真空泵(1)的排气口和前级真空泵装置(3)的进气口连通，所述前级真空泵装置(3)的进气口处设有阀门。

2.根据权利要求1所述的一种直排串联真空泵组，其特征在于，所述前级真空泵装置(3)为油式旋片真空泵。

3.根据权利要求1所述的一种直排串联真空泵组，其特征在于，所述前级真空泵装置(3)包括液环真空泵(10)和汽水分离器(9)，三通管道(4)的一个端口与液环真空泵(10)的进气口连通，所述液环真空泵(10)与汽水分离器(9)连通，液环真空泵(10)排出的汽水混合物进入汽水分离器(9)中分离，分离后的气体从汽水分离器排气口(12)排出，分离后的循环液流回液环真空泵(10)中。

4.根据权利要求3所述的一种直排串联真空泵组，其特征在于，所述汽水分离器(9)上设有补水口，所述补水口上连接有补水管，所述补水管与三轴模块化干式真空泵(1)的排水口连通，汽水分离器(9)内设置有浮球式液位开关，所述浮球式液位开关能够根据汽水分离器(9)内的水量自动打开和封闭汽水分离器(9)的补水口。

5.根据权利要求4所述的一种直排串联真空泵组，其特征在于，所述补水管上设有手动补水开关阀门。

6.根据权利要求1所述的一种直排串联真空泵组，其特征在于，还包括前级真空泵装置进气口管道(5)，所述前级真空泵装置进气口管道(5)的两端分别与前级真空泵装置(3)的进气口和三通管道(4)的一个端口连接，所述阀门设置于前级真空泵装置进气口管道(5)上。

7.根据权利要求6所述的一种直排串联真空泵组，其特征在于，所述阀门为电磁阀(6)，所述电磁阀(6)与前级真空泵装置(3)的驱动电机通过同一个开关控制。

8.根据权利要求7所述的一种直排串联真空泵组，其特征在于，所述前级真空泵装置进气口管道(5)上还设有手动进气开关阀门(7)。

9.根据权利要求1所述的一种直排串联真空泵组，其特征在于，所述三轴模块化干式真空泵(1)的排气口处安装有消音器。

10.根据权利要求1-9任意一项所述的一种直排串联真空泵组，其特征在于，还包括底座(13)，所述三轴模块化干式真空泵(1)、真空泵驱动电机(2)和前级真空泵装置(3)均安装在底座(13)上。