[发明专利]一种Φ300mm以上大直径石英玻璃管的高温脱羟炉及工艺

说明书

本发明公开了一种Φ300mm以上大直径石英玻璃管的高温脱羟炉，其包括炉体，所述炉体的长度设置为12米以上，高度为2米以上；所述炉体内部预留空间高度为1.6米以上，所述炉体内设置有若干钨网，所述钨网通过设置在所述炉体顶部的电源入孔与电源连接；所述钨网中间设置有导轨及可连续循环运转并有变频控制的输送带。本发明通过设计可连续性生产的高温脱羟炉，能够实现Φ800mm以内、任意长度的大直径石英管脱羟，并通过360°对石英管高温脱羟，达到或优于真空炉脱羟炉工艺，石英管高温脱羟指标OH‑含量≤10ppm。

技术领域

本发明涉及一种Φ300mm以上大直径石英玻璃管的脱羟炉及工艺。

背景技术

Φ300mm以上大直径石英玻璃管，因长度一般在2000mm-3000mm之间，壁厚大于100mm以上，现有技术采用真空炉高温脱羟的方法，对于大直径石英玻璃管，因受真空脱羟炉空间小于1800mm的限制，对Φ300mm、长度2000mm-3000mm的石英管需要切断放入。其脱羟的方法步骤为：

1、真空脱羟炉：开启电源、抽真空；

2、升温脱羟：连续升温48-72小时，真空度达到10^-3kPa时，真空炉内温度达到1120°后，恒温4-6小时；然后进行8小时降到常温处理；

3、石英管出炉，检测石英管羟基OH-含量≤20ppm。

上述方法存在以下不足与缺陷：

1、真空脱羟炉内的空间设计，一般长度为1800mm，高度为1500mm，对于Φ300mm、长度2000mm-3000mm的石英管需要进行切断码放3-4层投炉；

2、真空脱羟炉升温脱羟48-72小时，因Φ300mm石英管壁厚大于100mm以上，高度码放在3-4层之间，在48-72小时升温区间，石英管OH-含量难以全部排出；

3、利用真空脱羟炉对石英管脱羟处理，只能是单炉操作，不能连续性生产，产量低、成本高、时间长，不能满足连续生产的要求；同时，对于Φ300mm、长度2000mm-3000mm的石英管需要进行切断码放3-4层；

4、真空脱羟石英管羟基OH-含量≤20ppm，不能达到≤10ppm或更高的技术指标要求。

发明内容

本发明要解决的技术问题是克服现有技术中真空脱羟炉存在的产量低、成本高、时间长的缺陷，提供一种Φ300mm以上大直径石英玻璃管的高温脱羟炉及工艺。

为了解决上述技术问题，本发明提供了如下的技术方案：一种Φ300mm以上大直径石英玻璃管的高温脱羟炉，其包括炉体，所述炉体的长度设置为12米以上，高度为2米以上；所述炉体内部预留空间高度为1.6米以上，所述炉体内设置有若干钨网，所述钨网通过设置在所述炉体顶部的电源入孔与电源连接；所述钨网中间设置有导轨及可连续循环运转并有变频控制的输送带。

优选的，所述的炉体内设置有保温层。

优选的，所述的保温层厚度为0.4米。

优选的，所述保温层用普通耐火砖加耐高温锆玉砖砌成。

优选的，所述的电源入孔设置有6个。

优选的，所述钨网的直径为800mm、长度2米。

一种Φ300mm以上大直径石英玻璃管的脱羟制备工艺，其包括以下步骤：

S1、设计可连续性生产的高温脱羟炉；

S2、脱羟炉设计长度为12米以上，高度为2米以上，为保温砖砖砌结构；

S3、脱羟炉内部预留空间高度为1.6米以上；