[发明专利]一种用于激光阵列加工头的群孔位置精度补偿方法

权利要求书

1.一种用于激光阵列加工头的群孔位置精度补偿方法，其特征在于，包括以下步骤；

步骤一、将待加工图纸导入扫描振镜控制器中，将薄膜试件放置在待加工薄膜上方；

步骤二、激光器发出激光束，激光束经扩束镜实现扩束，然后进入扫描振镜；

步骤二中，激光器发出的激光束经扩束镜实现扩束后，再经第一反射镜的反射后进入扫描振镜，以实现不同光路的调整；所述激光器选用红外波段的飞秒激光器，平均功率10W，激光的脉冲宽度≤290fs；

步骤三、扫描振镜控制器驱动扫描振镜工作，扫描振镜对激光器的出射激光束进行偏转定位，并将激光束反射至激光阵列加工头，激光束通过激光阵列加工头后在薄膜试件上实现群孔的加工；

所述激光阵列加工头包括多个聚焦加工头，每个聚焦加工头包含第二反射镜和聚焦镜；第二反射镜将扫描振镜出射的光束反射至聚焦镜中实现光束在薄膜试件上的聚焦加工；

步骤四、显微镜对薄膜试件上的群孔进行位置精度的检测，获取群孔之间关于孔间距△X以及直线度△Y的位置精度误差；

步骤五、按照步骤四获取的位置精度误差，调整导入至扫描振镜控制器中加工图纸群孔的各个孔位置，从而实现群孔位置精度的精细补偿。

2.根据权利要求1所述的用于激光阵列加工头的群孔位置精度补偿方法，其特征在于：步骤三中，激光阵列加工头包括10个聚焦加工头，每个聚焦加工头包含第二反射镜和聚焦镜。

3.根据权利要求2所述的用于激光阵列加工头的群孔位置精度补偿方法，其特征在于：步骤三中，聚焦加工头中聚焦镜的焦距为100mm。