[发明专利]掩膜外框和掩膜组件

权利要求书

1.一种掩膜外框，其特征在于，包括：

主框体，围合形成蒸镀区域；

至少两个热膨胀部，设置于所述主框体上且将所述主框体至少划分为第一框体和第二框体，所述热膨胀部的热膨胀系数大于所述主框体的热膨胀系数，用于在受热膨胀时使所述第一框体相对于所述第二框体向远离所述第二框体的方向移动；

所述主框体具有间断区，所述热膨胀部置于所述间断区中；

或者，所述主框体的部分区域具有贯穿所述主框体的内侧与外侧的凹槽，所述热膨胀部置于所述凹槽中，且所述凹槽的底部设有缝隙，其中，所述主框体的内侧为所述主框体靠近所述蒸镀区域的一侧，所述主框体的外侧与所述主框体的内侧相对。

2.根据权利要求1所述的掩膜外框，其特征在于，所述热膨胀部由热膨胀材料构成；或者所述热膨胀部由所述主框体的部分区域掺杂热膨胀材料形成。

3.根据权利要求2所述的掩膜外框，其特征在于，所述热膨胀材料包括铜、铁和铝中的至少一种。

4.根据权利要求1所述的掩膜外框，其特征在于，所述主框体包括依次连接的第一侧边框、第二侧边框、第三侧边框和第四侧边框，所述第一侧边框和所述第三侧边框相对设置；

所述热膨胀部设置于所述第一侧边框和所述第三侧边框上。

5.根据权利要求4所述的掩膜外框，其特征在于，所述第一侧边框和/或所述第三侧边框上设置有至少两个相间隔的所述热膨胀部。

6.根据权利要求1所述的掩膜外框，其特征在于，还包括：

至少一个热收缩部，设置于所述主框体的内侧，用于固定掩膜单元，所述热收缩部能够受热收缩，其中，所述主框体的内侧为所述主框体靠近所述蒸镀区域的一侧。

7.根据权利要求6所述的掩膜外框，其特征在于，所述热收缩部包括热缩材料。

8.根据权利要求7所述的掩膜外框，其特征在于，所述热缩材料包括镍酸铋和镍酸铅中的至少一种。

9.根据权利要求6所述的掩膜外框，其特征在于，所述主框体包括与所述掩膜单元的固定位置对应的至少一个张网子区域，每个所述张网子区域设置有一个所述热收缩部。

10.根据权利要求6所述的掩膜外框，其特征在于，在由所述主框体的外侧指向所述主框体的内侧的方向上，所述热收缩部的厚度从其中间向两端逐渐减小。

11.根据权利要求6所述的掩膜外框，其特征在于，所述主框体包括依次连接的第一侧边框、第二侧边框、第三侧边框和第四侧边框，所述第一侧边框和所述第三侧边框相对设置；

所述热收缩部设置于所述第一侧边框和所述第三侧边框的内侧；或者，所述热收缩部设置于所述第一侧边框、所述第二侧边框、所述第三侧边框和所述第四侧边框的内侧。

12.一种掩膜组件，其特征在于，所述掩膜组件包括掩膜部和如权利要求1-11任一项所述的掩膜外框，所述掩膜部上设置有掩膜图案且位于所述掩膜外框的蒸镀区域，所述掩膜部的第一端固定于所述掩膜外框的第一框体上，所述掩膜部的与所述第一端相对的第二端固定于所述掩膜外框的第二框体上。

13.根据权利要求12所述的掩膜组件，其特征在于，所述掩膜组件还包括固定部，用于固定所述掩膜外框。