[发明专利]一种抗水腐蚀的难熔金属钼表面处理方法

权利要求书

1.一种抗水腐蚀的难熔金属钼表面处理方法，其特征在于，包括如下步骤：

1)制备钼粉

焙烧辉钼矿得到混有杂质的三氧化钼，采用氨水溶液对三氧化钼混合物进行溶解、分离和提纯，得到钼酸铵溶液；将钼酸铵溶液在一定温度下分解得到三氧化钼，在氨气气氛中还原得到纯钼粉；

2)压制成形、烧结

将纯钼粉进行单轴冷压成形得到压制板材，将压制板材毛坯在氢气气氛、烧结温度下进行无压烧结；

3)热加工与热处理

对钼板进行热轧，在氢气气氛中保温，然后在空气中进行多道双辊轧制得到板材，再进行退火处理；

步骤3)中，所述钼板中杂质为：La≤0.0009，Mg≤0.0002，Fe≤0.0023，Cr≤0.0008，Al≤0.0006；

4)制备实验样品

切割钼板样品，精细研磨并用抛光膏抛光，抛光表面用含8-12％的铁氰化钾和氢氧化钠水溶液轻微刻蚀，水清洗残留腐蚀剂；

5)离子辐照

保持样品辐照腔体内真空度，在设定的温度下采用Ar离子辐照样品表面，选择剂量为3-4*10¹⁶ion/cm²，加速电压为350-400KeV，平均原子离位能为25-35eV，得到表面处理后的钼块。

2.根据权利要求1所述的一种抗水腐蚀的难熔金属钼表面处理方法，其特征在于，所述步骤1)中，将钼酸铵溶液在450℃-500℃温度下分解。

3.根据权利要求1所述的一种抗水腐蚀的难熔金属钼表面处理方法，其特征在于，所述步骤2)中，烧结温度为1960℃下进行无压烧结6h。

4.根据权利要求1所述的一种抗水腐蚀的难熔金属钼表面处理方法，其特征在于，所述步骤3)中，在温度为1350℃下进行热轧，在氢气气氛中保温10min，去应力退火温度为850-1100℃，保温时间为40-60min。

5.根据权利要求1所述的一种抗水腐蚀的难熔金属钼表面处理方法，其特征在于，所述步骤4)中，分别利用240#，400#，800#，1200#和2000#水砂纸依次对Mo切片进行精细研磨，并用颗粒直径为0.5-1.5μm的抛光膏进行抛光。

6.根据权利要求1所述的一种抗水腐蚀的难熔金属钼表面处理方法，其特征在于，所述步骤5)中，离子入射方向与样品表面的夹角为97°。

7.根据权利要求1所述的一种抗水腐蚀的难熔金属钼表面处理方法，其特征在于，所述步骤5)中，保持离子源内灯丝电压8V，灯丝电流110A。

8.根据权利要求1所述的一种抗水腐蚀的难熔金属钼表面处理方法，其特征在于，所述步骤5)中，保持样品辐照腔体内真空度为1-3*10^-7torr，温度为25-100℃。