[发明专利]一种多晶铸锭坩埚喷涂台及石英坩埚喷涂方法

说明书

本发明公开了一种多晶铸锭坩埚喷涂台及石英坩埚喷涂方法，涉及多晶硅技术领域。其喷涂台包括坩埚加热板和加热板垫片；所述坩埚加热板用于承托并加热石英坩埚，所述加热板垫片放置在所述坩埚加热板和石英坩埚之间，所述加热板垫片设置有孔洞，所述孔洞内部设置有照明装置。本发明提供一种多晶铸锭坩埚喷涂台及石英坩埚喷涂方法，能够实时判断出坩埚涂层质量，及时调整喷涂工艺，改善涂层效果，提高喷涂效率，降低工作量。

技术领域

本发明涉及多晶硅技术领域，尤其涉及一种多晶铸锭坩埚喷涂台及石英坩埚喷涂方法。

背景技术

坩埚喷涂是多晶铸锭的第一个步骤，由于在多晶铸锭过程中，多使用陶瓷石英坩埚盛装硅料，在高温化料过程中，熔融状态的硅会与坩埚发生粘连，同时，坩埚中的杂质也会进入到硅碇内部，从而降低硅碇的品质。因此，在装料前，需在坩埚表面涂覆一层氮化硅涂层用来使坩埚与硅碇隔离，确保不会粘连，同时阻止坩埚中的杂质进入到硅碇内部，确保硅碇品质。

目前多采用成本低廉，易操作的机械臂自动热喷涂方式来进行氮化硅涂层的涂覆。由于喷涂的涂层较薄，在喷涂过程中容易出现涂层薄厚不均匀，部分位置未喷涂到等现象。从而引起涂层缺失、脱落。导致硅碇引入杂质、裂纹，影响品质。

因此，亟需一种能够实现对坩埚喷涂均匀、喷涂方便的多晶铸锭坩埚喷涂台及石英坩埚喷涂方法。

发明内容

为了解决现有技术的不足，本发明的主要目的在于提供一种多晶铸锭坩埚喷涂台及石英坩埚喷涂方法，能够实时判断出坩埚涂层质量，及时调整喷涂工艺，改善涂层效果。

本发明提供一种多晶铸锭坩埚喷涂台及石英坩埚喷涂方法，还能够节省人员上下搬运检查的工序，提高喷涂效率，降低工作量。

为了实现上述目的，本发明的技术方案如下：

一种多晶铸锭坩埚喷涂台，包括坩埚加热板和加热板垫片；所述坩埚加热板用于承托并加热石英坩埚，所述加热板垫片放置在所述坩埚加热板和石英坩埚之间，所述加热板垫片设置有孔洞，所述孔洞内部设置有照明装置。

可选地，还包括控制器，所述控制器与所述照明装置电连接，以控制所述照明装置的工作启停。

可选地，所述坩埚加热板包括底部和四个侧部，组成上部开口的箱型结构。

可选地，所述加热板垫片的形状与所述坩埚加热板内表面形状相同，包括垫片底部和垫片侧部，组成上部开口的箱型结构。

可选地，所述加热板垫片的垫片底部和垫片侧部均设有若干个孔洞，所述孔洞均匀分布，所述孔洞内均设置有所述照明装置。

可选地，所述照明装置设置于所述孔洞内预定深度。

可选地，所述照明装置为密封的耐高温强光灯。

可选地，所述坩埚加热板为不锈钢制成；所述加热板垫片的材质为耐高温硅胶。

本发明还提供了一种石英坩埚喷涂方法，采用如前所述的多晶铸锭坩埚喷涂台，包括以下步骤：

将待喷涂石英坩埚置于多晶铸锭坩埚喷涂台中；

待加热完成后，开启照明装置；

利用喷涂组件对所述待喷涂石英坩埚进行喷涂。

可选地，利用喷涂组件对所述待喷涂石英坩埚进行喷涂时，根据待喷涂石英坩埚的明暗强度的不同，调整暗区喷涂时间，使喷涂后，石英坩埚的各区域明暗强度相同。