[发明专利]热处理设备在审
| 申请号: | 202010224663.7 | 申请日: | 2020-03-26 |
| 公开(公告)号: | CN111351337A | 公开(公告)日: | 2020-06-30 |
| 发明(设计)人: | 罗搏飞;吴勇茂 | 申请(专利权)人: | 常州捷佳创智能装备有限公司 |
| 主分类号: | F26B15/12 | 分类号: | F26B15/12;F26B21/00;F26B25/00;H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京友联知识产权代理事务所(普通合伙) 11343 | 代理人: | 汪海屏;王淑梅 |
| 地址: | 213133 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 热处理 设备 | ||
1.一种热处理设备,其特征在于,包括:
炉体,所述炉体具有腔体,所述腔体具有进风口与出风口;
第一均风结构,所述第一均风结构对应所述进风口设置,位于所述腔体内,所述第一均风结构被配置为适于对通过进入的气流进行分流;
第二均风结构,设于所述腔体,与所述第一均风结构相对,所述第二均风结构对应所述出风口设置,位于所述腔体内,所述第二均风结构被配置为适于对通过的气流进行分流;
送风机构,所述送风机构的送风口与所述进风口相连通。
2.根据权利要求1所述的热处理设备,其特征在于,
所述第一均风结构包括:至少一层第一均风板,至少一层所述第一均风板叠设于所述腔体的底部,所述第一均风板上分布有多个第一通孔。
3.根据权利要求2所述的热处理设备,其特征在于,
所述第二均风结构包括:至少一层第二均风板,所述第二均风板设于所述腔体的顶部,所述第二均风板上分布有多个第二通孔。
4.根据权利要求3所述的热处理设备,其特征在于,
所述第一均风板包括:
第一板体,所述第一通孔设于所述第一板体;
第一安装部,设于所述第一板体的周侧,所述第一板体通过所述第一安装部与所述炉体相连接;和/或
所述第二均风板包括:
第二板体,所述第二通孔设于所述第二板体;
第二安装部,设于所述第二板体的周侧,所述第二板体通过所述第二安装部与所述炉体相连接。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的热处理设备,其特征在于,
所述第一均风结构位于所述腔体的底部;
所述第二均风结构位于所述腔体的顶部。
6.根据权利要求5所述的热处理设备,其特征在于,还包括:
吸风机构,所述吸风机构的吸风口与所述出风口相连通。
7.根据权利要求6所述的热处理设备,其特征在于,还包括:
冷凝组件;
第一出风管,一端与所述吸风机构的排风口相连接,另一端与所述冷凝组件相连接,所述冷凝组件用于冷却由所述第一出风管进入的气流;
第二出风管,与所述冷凝组件相连接,所述吸风机构排出的气流依次流经所述第一出风管与所述冷凝组件并由所述第二出风管排出。
8.根据权利要求7所述的热处理设备,其特征在于,还包括:
加热组件,设于所述送风机构与所述进风口之间,用于加热进入所述腔体的气流。
9.根据权利要求8所述的热处理设备,其特征在于,
所述炉体包括:
第一炉膛体,所述进风口位于所述第一炉膛体;
第二炉膛体,设于所述第一炉膛体,所述出风口设于所述第二炉膛体,所述第一炉膛体与所述第二炉膛体合围出所述腔体。
10.根据权利要求9所述的热处理设备,其特征在于,还包括:
输送机构,设于所述腔体,所述输送机构位于所述第一均风结构与所述第二均风结构之间;
加热机构,设于所述腔体,位于所述输送机构的上方或下方。
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