[发明专利]用于显微镜的物镜有效

专利信息
申请号: 202010222198.3 申请日: 2020-03-26
公开(公告)号: CN111751970B 公开(公告)日: 2022-07-05
发明(设计)人: R·沃特曼 申请(专利权)人: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
主分类号: G02B21/02 分类号: G02B21/02;G02B15/163;G02B21/33;G02B27/00
代理公司: 北京市中咨律师事务所 11247 代理人: 万柳军;吴鹏
地址: 德国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 用于 显微镜 物镜
【权利要求书】:

1.一种用于显微镜的物镜(1),其具有:

1.1多个透镜,

1.1.1所述多个透镜沿着光轴(OA)布置,

1.2其中,至少一个透镜组能沿着所述光轴(OA)移动,

1.3其中,所述至少一个能移动的透镜组具有焦距f’,

1.4其中,物体(y)在所述能移动的透镜组之前的半空间内生成第一近轴中间像(y’)并且在所述能移动的透镜组之后的半空间内生成第二近轴中间像(y”),

1.5其中,对于使所述光轴(OA)上的点从第一近轴中间像(y’)成像为第二近轴中间像(y”)的至少一个成束光线(4),满足以下条件:

其中,

1.5.1σ表示在所述能移动的透镜组之前将所述第一近轴中间像(y’)成像到所述第二近轴中间像(y”)的成束光线(4)的倾斜角度,

1.5.2σ’表示在所述能移动的透镜组之后将所述第一近轴中间像(y’)成像到所述第二近轴中间像(y”)的成束光线的倾斜角度,

1.5.3s’p表示在所述能移动的透镜组之后的半空间内所述第二近轴中间像(y”)与在无穷远处的入射光瞳的中间像之间的距离,

1.5.4Δs’表示所述成束光线相对于所述第二近轴中间像(y”)的纵向像差,

1.5.5β’表示所述物体(y)成像到所述第一近轴中间像(y’)的近轴放大率,

1.5.6β”表示所述物体(y)成像到所述第二近轴中间像(y”)的近轴放大率,以及

1.6其中,将所述光轴(OA)上的点从第一近轴中间像(y’)成像到第二近轴中间像(y”)的至少一个成束光线的纵向像差Δs’大于或等于所述至少一个能移动的透镜组的焦距f’的0.3倍。

2.根据权利要求1所述的物镜(1),其特征在于,所述能移动的透镜组设计成,能通过其沿着所述光轴(OA)的移动产生的球面像差就绝对值而言正好对应于预定的、在物体空间内产生的球面像差,但具有相反的符号。

3.根据权利要求1或2所述的物镜(1),其特征在于,在沿着所述光轴(OA)移动时,所述能移动的透镜组在垂直于光轴的方向上具有最大10微米的游隙。

4.根据权利要求1或2所述的物镜(1),其特征在于,所述能移动的透镜组包括两个三重胶合元件。

5.根据权利要求1或2所述的物镜(1),其特征在于,所述能移动的透镜组包括单透镜和至少一个三重胶合元件,其中,所述单透镜由与所述至少一个三重胶合元件的中间透镜相同的材料制成。

6.根据权利要求1或2所述的物镜(1),其特征在于,所述能移动的透镜组在光路的方向上具有第一三重胶合元件、第二三重胶合元件和单透镜,其中,所述第二三重胶合元件构造成使得来自所述物体(y)的光束在穿过物镜(1)时在第二三重胶合元件的区域内具有收缩。

7.根据权利要求1或2所述的物镜(1),其特征在于,具有至少0.8的数值孔径。

8.根据权利要求1或2所述的物镜(1),其特征在于,具有至少25的放大率。

9.根据权利要求1或2所述的物镜(1),其特征在于,所述能移动的透镜组包括7个具有以下光学设计数据的透镜L4至L10

10.根据权利要求1或2所述的物镜(1),其特征在于,所述多个透镜包括14个透镜L1至L14,并且所述显微镜的盖玻片DG和所述14个透镜L1至L14具有以下设计数据:

11.根据权利要求1或2所述的物镜(1),其特征在于,所述能移动的透镜组包括7个具有以下光学设计数据的透镜L4至L10

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