[发明专利]电触头及探针卡

说明书

提供具有对被检查体的电极端子的低针压化和供给电流的最大化这两种特性的电触头及探针卡。本发明的电触头的特征在于，具有：接触部，其与第一接触对象和第二接触对象电接触，由导电性材料形成；以及基部，其安装在基板上，并且弹性地支承所述接触部，由合成树脂材料形成。本发明的探针卡将检查装置和被检查体的电极端子之间电连接，该探针卡的特征在于，具有：探针基板，其具有与检查装置电连接的布线电路，在一个表面上具有与所述布线电路连接的多个基板电极；以及本发明的第1发明的多个电触头。

技术领域

本发明涉及一种电触头及探针卡，例如，能够适用于在被检查体的通电试验等时与被检查体的电极端子电接触的电触头及探针卡。

背景技术

在半导体晶圆上形成多个半导体集成电路后，使用检查装置进行半导体晶圆上的各半导体集成电路(被检查体)的电气测试。

在进行电气检查时，被检查体载置在卡盘顶上，卡盘顶上的被检查体被推压至安装在检查装置上的探针卡。探针卡以各探针的顶端部从该探针卡的下表面突出的方式安装有多个探针，通过将被检查体推压至探针卡，使各探针的顶端部与被检查体的对应的电极端子电接触。然后，通过探针将来自检查装置的电信号供给到被检查体，通过探针将来自被检查体的信号取入到检查装置侧，由此能够进行被检查体的电气检查。

近年来，随着半导体集成电路的超微细化、超高集成化，设置在探针卡上的探针数增大，要求探针窄间距化、以低针压与被检查体的电极端子接触。而且，伴随着半导体集成电路的超高性能化，还要求探针对被检查体的电极端子供给高电流值的电流。

专利文献1的记载技术公开了用于探针之间的窄间距化和扩大探针卡中的导通路径的间距间隔的技术，公开了整体由导电性材料形成的悬臂型探针。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2016-148566号公报

发明内容

发明要解决的问题

但是，为了满足低针压化的要求，希望减小探针的截面积，与此相对，为了满足电流最大化的要求，希望增大探针的截面积。即，由于低针压化和电流最大化这两种特性为权衡的关系，所以难以提供具有低针压化和电流最大化这两种特性的探针。

因此，本发明鉴于上述问题，提供一种具有对被检查体的电极端子的低针压化和供给电流的最大化这两种特性的电触头及探针卡。

用于解决问题的手段

为了解决上述问题，本发明的第1发明的电触头的特征在于，具有：接触部，其与第一接触对象和第二接触对象电接触，由导电性材料形成；以及基部，其安装在基板上，并且弹性地支承所述接触部，由合成树脂材料形成。

本发明的第2发明的探针卡将检查装置和被检查体的电极端子之间电连接，所述探针卡的特征在于，具有：探针基板，其具有与所述检查装置电连接的布线电路，在一个表面上具有与所述布线电路连接的多个基板电极；以及本发明的第1发明的多个电触头。

发明的效果

根据本发明，能够提供一种具有对被检查体的电极端子的低针压化和供给电流的最大化这两种特性的电触头及探针卡。

附图说明

图1是表示实施方式的电触头的构成的主视图。

图2是表示实施方式的电连接装置的构成的构成图。

图3是表示实施方式的电触头的构成的后视图。

图4是表示实施方式的电触头的组装方法的一例的图。

图5是表示以往的电触头的构成例的图。

图6是说明经由以往的电触头的通电路径的说明图。