[发明专利]一种蓝宝石晶体生长用坩埚固定及坩埚盖自支撑结构在审
| 申请号: | 202010214761.2 | 申请日: | 2020-03-24 |
| 公开(公告)号: | CN111394785A | 公开(公告)日: | 2020-07-10 |
| 发明(设计)人: | 左洪波;杨鑫宏;李铁;阎哲华 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司 |
| 主分类号: | C30B17/00 | 分类号: | C30B17/00;C30B29/20 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 150001 黑龙江*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 蓝宝石 晶体生长 坩埚 固定 支撑 结构 | ||
1.一种蓝宝石晶体生长用坩埚固定及坩埚盖自支撑结构,其特征在于它包括上隔热屏、坩埚盖、坩埚盖支撑杆、坩埚、坩埚固定杆、驱动电机、驱动连杆、发热体、钨盘和钨柱,上隔热屏设置在坩埚盖上方,发热体设置在坩埚外围,钨盘设置在坩埚下方发热体内部,钨柱支撑钨盘设置;坩埚周围有6个坩埚固定杆,且均设置有独立驱动电机;坩埚盖支撑杆设置在坩埚固定杆上方支撑坩埚盖,驱动电机与坩埚固定杆通过驱动连杆连接,驱动电机通过驱动连杆控制坩埚固定杆伸缩梁,通过控制6个坩埚固定杆的伸缩梁控制坩埚与发热体之间的距离。
2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶体生长用坩埚固定及坩埚盖自支撑结构,其特征在于所述的6个坩埚固定杆每个之间夹角为60°。
3.根据权利要求2所述的一种蓝宝石晶体生长用坩埚固定及坩埚盖自支撑结构,其特征在于所述的坩埚盖为多层同心圆环钼片构成,钼片层数为5-8层。
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