[发明专利]一种蓝宝石晶体生长用坩埚固定及坩埚盖自支撑结构在审

专利信息
申请号: 202010214761.2 申请日: 2020-03-24
公开(公告)号: CN111394785A 公开(公告)日: 2020-07-10
发明(设计)人: 左洪波;杨鑫宏;李铁;阎哲华 申请(专利权)人: 哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司
主分类号: C30B17/00 分类号: C30B17/00;C30B29/20
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 150001 黑龙江*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要:
搜索关键词: 一种 蓝宝石 晶体生长 坩埚 固定 支撑 结构
【权利要求书】:

1.一种蓝宝石晶体生长用坩埚固定及坩埚盖自支撑结构,其特征在于它包括上隔热屏、坩埚盖、坩埚盖支撑杆、坩埚、坩埚固定杆、驱动电机、驱动连杆、发热体、钨盘和钨柱,上隔热屏设置在坩埚盖上方,发热体设置在坩埚外围,钨盘设置在坩埚下方发热体内部,钨柱支撑钨盘设置;坩埚周围有6个坩埚固定杆,且均设置有独立驱动电机;坩埚盖支撑杆设置在坩埚固定杆上方支撑坩埚盖,驱动电机与坩埚固定杆通过驱动连杆连接,驱动电机通过驱动连杆控制坩埚固定杆伸缩梁,通过控制6个坩埚固定杆的伸缩梁控制坩埚与发热体之间的距离。

2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶体生长用坩埚固定及坩埚盖自支撑结构,其特征在于所述的6个坩埚固定杆每个之间夹角为60°。

3.根据权利要求2所述的一种蓝宝石晶体生长用坩埚固定及坩埚盖自支撑结构,其特征在于所述的坩埚盖为多层同心圆环钼片构成,钼片层数为5-8层。

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