[发明专利]宽高比恒定的微结构的制备方法和PDMS弹性体在审
| 申请号： | 202010213903.3 | 申请日： | 2020-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN112110412A | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 时权;巫金波;何仲;温维佳;张萌颖;薛厂 | 申请（专利权）人： | 上海大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B7/00;G03F7/00 |
| 代理公司： | 石家庄旭昌知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 13126 | 代理人： | 张会强 |
| 地址： | 201800 上海市嘉定*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 恒定 微结构 制备 方法 pdms 弹性体 | ||
1.一种宽高比恒定的微结构的制备方法，其特征在于：该方法包括如下的步骤：
a.将基底表面进行疏液修饰，使被修饰的基底表面具有疏液性；
b.在所述基底具有疏液性的表面涂抹一层光刻胶，并将光刻胶层加热固化；
c.通过掩模版使紫外光选择性照射所述基底具有光刻胶层的表面，再通过显影液溶解去除被紫外光照射区域的光刻胶，以将掩模版上微结构图案复制到所述光刻胶层上；
d.通过等离子刻蚀对复制有微结构图案的所述光刻胶层进行表面处理，再将所述基底表面的光刻胶去除，以在基底表面形成亲液性的微结构图案；
e.在亲液性的所述微结构图案中填充牺牲层液体；
f.将PDMS的预聚物和固化剂按10：1质量比混合并搅拌均匀，去除气泡后倾倒在具有微结构图案的所述基体表面上；
g.在30℃条件下进行自然固化，再于55℃条件下加热使PDMS完全固化，之后将PDMS由基底上揭下，即在所述PDMS上得到宽高比恒定的微结构。
2.根据权利要求1所述的宽高比恒定的微结构的制备方法，其特征在于：所述基底为硅片或玻璃片。
3.根据权利要求1所述的宽高比恒定的微结构的制备方法，其特征在于：步骤a中采用全氟辛基三乙氧基硅烷对所述基底表面进行疏液修饰。
4.根据权利要求1所述的宽高比恒定的微结构的制备方法，其特征在于：步骤b中的所述光刻胶为正性光刻胶，且步骤d中通过丙酮、无水乙醇去除所述基底表面的光刻胶。
5.根据权利要求4所述的宽高比恒定的微结构的制备方法，其特征在于：所述光刻胶采用AZ9260光刻胶，且步骤b中为在热板上150℃加热330s将光刻胶层加热固化。
6.根据权利要求1所述的宽高比恒定的微结构的制备方法，其特征在于：所述牺牲层液体为甘油。
7.根据权利要求1所述的宽高比恒定的微结构的制备方法，其特征在于：步骤e中通过旋涂法或涂布法将牺牲层液体填充于微结构图案中。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的宽高比恒定的微结构的制备方法，其特征在于：步骤g中为在30℃条件下进行24h的自然固化，再于55℃条件下加热1h。
9.一种PDMS弹性体，其特征在于：所述PDMS弹性体上具有由权利要求1至8中任一项所述的制备方法所制备的宽高比恒定的微结构，且所述微结构为微流道。
10.根据权利要求9所述的PDMS弹性体，其特征在于：所述PDMS弹性体应用于微流体力学或生物体血管模拟。
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