[发明专利]一种互锁电路、激光器及互锁电路的逻辑控制方法

说明书

本申请公开了一种互锁电路、激光器及互锁电路的逻辑控制方法，互锁控制电路在接收到的互锁信号为正常时，输出第一电源信号至接触器电路，使得接触器电路导通；接触器电路在上电导通后输出第二电源信号至互锁控制电路，使得互锁控制电路导通；互锁控制电路在接收到的互锁信号为异常时保持导通，并停止输出第一电源信号至接触器电路，使得接触器电路关断。本申请技术方案中在互锁信号由正常变为异常后，互锁控制电路保持导通，而接触器电路关断，形成互锁。保证设备不会因为互锁信号反复产生而反复启动关闭设备，从而避免了互锁失效。

技术领域

本申请属于激光技术领域，尤其涉及一种互锁电路、激光器及互锁电路的逻辑控制方法。

背景技术

准分子激光器是一种面向深紫外特征应用的脉冲式气体激光器，是优秀的微电子光刻系统用激光光源。通常激光器中需要设置互锁电路，避免激光器出现故障时造成设备的损坏。

现有的互锁电路，通常只有在互锁信号产生后，断掉相关工作设备，互锁信号反复容易使设备长期启停造成危害；同时如果存在大电流，会有造成继电器粘连的可能，导致互锁失效，从而引发危险。

发明内容

有鉴于此，本申请实施例提供了一种互锁电路、激光器及互锁电路的逻辑控制方法，以解决现有技术中互锁电路中互锁失效的问题。

本申请实施例的第一方面提供了互锁电路，所述互锁电路包括接触器电路及互锁控制电路；其中，

所述互锁控制电路，用于在接收到的互锁信号为正常时，输出第一电源信号至所述接触器电路，使得所述接触器电路导通；

所述接触器电路，用于在上电导通后输出第二电源信号至所述互锁控制电路，使得所述互锁控制电路导通；

所述互锁控制电路，还用于在接收到的互锁信号为异常时保持导通，并停止输出第一电源信号至所述接触器电路，使得所述接触器电路关断。

优选地，所述互锁控制电路包括第一继电器，所述第一继电器包括第一线圈、第一公共触点、第二公共触点、第一常开触点、第二常开触点、第一常闭触点及第二常闭触点；所述第一线圈的第一端接地，所述第一线圈的第二端与所述第二公共触点连接；

在第一线圈未吸合时，所述第一公共触点与所述第一常闭触点连接，所述第一公共触点还接收互锁信号；所述第二公共触点与所述第二常闭触点连接，所述第二公共触点还与所述接触器电路连接；

在所述第一线圈吸合时，所述第一公共触点与所述第一常开触点连接，所述第二公共触点与所述第二常开触点连接。

优选地，所述互锁控制电路，还用于在接收到的互锁信号由异常变为正常时，保持导通。

优选地，所述互锁电路还包括复位电路，所述复位电路用于在收到触发时发出复位信号，所述互锁控制电路接收到复位信号时断开，输出第一电源信号至所述接触器电路，使得所述接触器电路导通。

优选地，所述复位电路包括复位开关，所述复位开关的第一端与所述互锁控制电路连接，所述复位开关的第二端与所述接触器电路连接。

优选地，所述复位开关为常开复位开关。

优选地，所述接触器电路包括第二线圈、第三常闭触点、第四常闭触点、第三常开触点、第四常开触点、第五常开触点及第六常开触点；其中

所述第三常闭触点与供电电源连接，所述第四常闭触点接地；所述第三常开触点、第四常开触点、第五常开触点及第六常开触点均与所述互锁控制电路连接，所述第六常开触点还与所述第二线圈的第一端连接，所述第二线圈的第二端接地。

优选地，所述互锁电路还包括互锁指示电路，在所述互锁控制电路在接收到的互锁信号为异常时，停止输出第一电源信号至所述接触器电路，使得所述接触器电路关断，互锁指示电路发出报警信号。