[发明专利]一种基于形态变化的全自动晶圆研磨机

权利要求书

1.一种基于形态变化的全自动晶圆研磨机,包括机体（1）、旋转安装于机体（1）内的研磨头（2）以及安装于研磨头（2）上方的研磨垫（10），其特征在于：所述机体（1）内固定安装有对研磨头（2）进行承托的支撑盘（3），所述机体（1）的底端固定安装有电机（4），所述电机（4）的驱动端贯穿机体（1）的底端并通过转动轴（5）贯穿支撑盘（3）固定连接于研磨头（2）的底端中部，所述研磨头（2）的底端旋转于支撑盘（3）的上端，所述研磨头（2）的上端两侧均设有晶圆定位机构；

所述机体（1）的一侧通过竖板固定安装有电动滑轨（6），所述电动滑轨（6）通过电动滑块（7）固定连接有固定架（8），所述研磨垫（10）固定连接于固定架（8）的底端，所述支撑盘（3）的外侧壁上开设有一对贯穿腔（302），一对所述贯穿腔（302）之间设有一组安装腔，所述安装腔内安装有第一粉尘传感器（11），所述机体（1）靠近底端的内部安装有集尘机构，所述集尘机构的外端导入至机体（1）的外部，且集尘机构上安装有第二粉尘传感器（15），所述转动轴（5）通过轴承（12）与支撑盘（3）的内壁旋转安装，所述研磨头（2）的下端两侧均固定连接有导向杆，所述支撑盘（3）的上端开设有与导向杆相匹配的导向腔（301），所述晶圆定位机构包括固定连接于研磨头（2）外端侧壁上的弧形定位盘（201），所述弧形定位盘（201）上固定吸附有限位盘（202），所述限位盘（202）的前端固定连接有弧形限位套（203），所述集尘机构包括固定连接于机体（1）内部的集尘罩（13），所述集尘罩（13）位于支撑盘（3）的下方，所述集尘罩（13）的底端部固定连接有排气管（14），所述排气管（14）的外端贯穿至机体（1）的外端，所述机体（1）的外端固定安装有连接于排气管（14）上的抽风机（16），所述集尘罩（13）为锥形结构，所述第二粉尘传感器（15）固定安装于排气管（14）的上端部。

2.根据权利要求1所述的一种基于形态变化的全自动晶圆研磨机,其特征在于：所述弧形定位盘（201）的上端侧壁上安装有电磁铁，所述限位盘（202）的底端固定安装有磁吸块，且限位盘（202）为弧形L状结构。

3.根据权利要求1所述的一种基于形态变化的全自动晶圆研磨机,其特征在于：所述固定架（8）的底端固定连接有升降台（9），所述升降台（9）固定连接于研磨垫（10）的上端，所述升降台（9）的上端两侧均通过牵引索固定连接于固定架（8）的底部两侧。

4.根据权利要求1所述的一种基于形态变化的全自动晶圆研磨机,其特征在于：所述机体（1）靠近顶端的侧壁上固定连接有环形板，所述环形板上固定贴附有与升降台（9）位置对应的缓冲垫（17）。

5.根据权利要求1所述的一种基于形态变化的全自动晶圆研磨机,其特征在于：所述集尘罩（13）上开设有用于转动轴（5）贯穿的中空腔，所述中空腔的内壁包覆有与转动轴（5）旋转衔接的密封套。