[发明专利]一种基于声表面波和磁扭矩效应的磁传感器及制备方法

权利要求书

1.一种基于声表面波和磁扭矩效应的磁传感器，其特征在于，包括固定底座、声表面波发生结构、悬臂梁结构和磁铁；悬臂梁结构的一端设置在固定底座的顶部，磁铁设置在悬臂梁结构的另一端；声表面波发生结构设置在悬臂梁结构表面；

声表面波发生结构包括叉指电极和压电材料；压电材料设置在悬臂梁结构表面，若干叉指电极设置在压电材料上；

悬臂梁的材料是铜箔或不锈钢箔中的一种；

压电材料为压电单晶或者压电薄膜，压电材料是LiNbO₃、LiTaO₃、ST-quar、PZT、ZnO或AlN中的一种。

2.根据权利要求1所述的一种基于声表面波和磁扭矩效应的磁传感器，其特征在于，声表面波发生结构是单端口或者延迟线结构。

3.根据权利要求1所述的一种基于声表面波和磁扭矩效应的磁传感器，其特征在于，叉指电极是由电极薄膜和粘附层组成，电极薄膜位于粘附层上面；电极薄膜为Au、Al、Pt或Cu中的一种；粘附层为Ta或Cr中的一种。

4.根据权利要求1所述的一种基于声表面波和磁扭矩效应的磁传感器，其特征在于，磁铁的数量由多块组成；磁铁的堆放是平行或者位于悬臂梁的上下表面；磁铁是铁氧体磁铁、铷铁硼磁铁、铝镍钴磁铁、钐钴磁铁或金属合金磁铁中的一种。

5.一种基于声表面波和磁扭矩效应的磁传感器的制备方法，其特征在于，基于权利要求1至4任意一项所述的一种基于声表面波和磁扭矩效应的磁传感器，包括以下步骤：

1)压电单晶或者压电薄膜衬底的预处理：用乙醇、丙酮、分别依次清洗，烘干备用；

2)定义叉指电极图案：在压电材料上旋涂光刻胶，曝光，然后沉积电极粘附层和电极层，最后剥离获得叉指电极图案；

3)将声表面波发生结构粘结在悬臂梁结构上，固化；

4)将磁铁置于悬臂梁的自由端。