[发明专利]一种宽谱段共光路3-D角镜消零干涉仪有效
| 申请号: | 202010196052.6 | 申请日: | 2020-03-19 |
| 公开(公告)号: | CN113495359B | 公开(公告)日: | 2022-10-04 |
| 发明(设计)人: | 魏儒义;张学敏;胡炳樑;王鹏冲;狄腊梅 | 申请(专利权)人: | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号: | G02B27/00 | 分类号: | G02B27/00;G02B23/12 |
| 代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 史晓丽 |
| 地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 宽谱段共光路 角镜消零 干涉仪 | ||
1.一种宽谱段共光路3-D角镜消零干涉仪,其特征在于:包括第一分束器(11)、第二分束器(2)、第一二面直角镜(3)、第二二面直角镜(4)、第一平面反射镜(5)以及第二平面反射镜(6);
待处理的入射光(1)透过第一分束器(11)后被第二分束器(2)分为第一透射光和第一反射光;
所述第一透射光依次经过第一二面直角镜(3)、第一平面反射镜(5)、第二平面反射镜(6)以及第二二面直角镜(4)后再次入射至第二分束器(2)形成第二反射光和第二透射光;
所述第一反射光依次经过第二二面直角镜(4)、第二平面反射镜(6)、第一平面反射镜(5)以及第一二面直角镜(3)后再次入射至第二分束器(2)形成第三反射光和第三透射光;
所述第二透射光与第三反射光相遇产生干涉,沿与待处理的入射光(1)垂直的方向出射,作为第一输出干涉信号;第二反射光与第三透射光相遇产生干涉,沿与待处理的入射光(1)重合的方向出射再次到达第一分束器(11),经过第一分束器(11)反射形成第四反射光后出射,作为第二输出干涉信号;
所述第一二面直角镜(3)的相交轴线与第一透射光主光轴方向垂直,且与由第一透射光主光轴和第一反射光主光轴形成的平面成45度角;
所述第二二面直角镜(4)的相交轴线与第一反射光主光轴方向垂直,且与由第一透射光主光轴和第一反射光主光轴形成的平面平行;
所述第一平面反射镜(5)的法线与待处理的入射光(1)主光轴方向成67.5度角,且该法线与由第一透射光主光轴和第一反射光主光轴形成的平面平行;
所述第二平面反射镜(6)与待处理的入射光(1)主光轴方向的夹角为112.5度,且该法线与由第一透射光主光轴和第一反射光主光轴形成的平面平行。
2.根据权利要求1所述的一种宽谱段共光路3-D角镜消零干涉仪,其特征在于:
定义:所述第一透射光主光轴在第一二面直角镜(3)上的第一个反射点到第一二面直角镜(3)的相交轴线的距离为A;所述第一反射光主光轴在第二二面直角镜(4)的第一个反射点到第二二面直角镜(4)的相交轴线的距离为B;则A是B的2^0.5倍。
3.根据权利要求2所述的一种宽谱段共光路3-D角镜消零干涉仪,其特征在于:
所述第一分束器(11)和第二分束器(2)均包括光学镜片和设置在光学镜片上的半透半反分光膜。
4.根据权利要求3所述的一种宽谱段共光路3-D角镜消零干涉仪,其特征在于:
所述半透半反分光膜为介质膜或金属膜。
5.根据权利要求1或2或3或4任一所述的一种宽谱段共光路3-D角镜消零干涉仪,其特征在于:还包括设置在外部光源处的前置光学系统(10);
所述前置光学系统(10)包括沿光路依次设置的会聚透镜、光阑和准直透镜。
6.根据权利要求5所述的一种宽谱段共光路3-D角镜消零干涉仪,其特征在于:还包括成像镜(7);
所述成像镜(7)设置于第四反射光的光路上。
7.根据权利要求6所述的一种宽谱段共光路3-D角镜消零干涉仪,其特征在于:还包括探测器(8);
所述探测器(8)设置于第四反射光的光路上,且位于成像镜(7)之后。
8.根据权利要求7所述的一种宽谱段共光路3-D角镜消零干涉仪,其特征在于:所述探测器(8)之后还设置有计算机处理系统(9)。
9.根据权利要求8所述的一种宽谱段共光路3-D角镜消零干涉仪,其特征在于:
所述第一二面直角镜(3)和第二二面直角镜(4)是由两个反射镜组成的空心结构。
10.根据权利要求8所述的一种宽谱段共光路3-D角镜消零干涉仪,其特征在于:
所述第一二面直角镜(3)和第二二面直角镜(4)为实心棱镜结构。
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