[发明专利]送料装置

说明书

本发明提供了一种送料装置，包括：载台、第一驱动组件和取料组件，载台用于承载待加工件；载台承载于第一驱动组件上，第一驱动组件用于带动待加工件相对载台进行分离运动；取料组件能够接近或远离载台，取料组件用于带动分离于载台的待加工件运动，取料组件带动待加工件移动，从而可以将待加工件送入工艺腔室内进行加工，铝载板不需要带动待加工件进出工艺腔室，保证铝载板的表面温度不易发生变化，从而避免铝载板表面温度不均匀而对待加工件的品质产生影响，而且本申请中通过第一驱动组件和取料组件相配合，从而自动将待加工件送入工艺腔室内，提高将待加工件放入工艺腔室的自动化程度和便利性。

技术领域

本发明属于镀膜设备技术领域，具体而言，涉及一种送料装置。

背景技术

光伏设备中镀膜的技术指标容易受到温度的影响，光伏设备中需要将硅片放在一块铝载板上，铝载板带动硅片进出工艺腔室，铝载板进出工艺腔室会经过升温和降温过程，难免会出现铝载板表面温度不均匀的情况，从而导致放置于铝载板上的硅片表面温度不均匀，如果硅片的表面温度不均匀会导致镀层厚度不均匀，影响镀膜的品质。

发明内容

本发明旨在解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。

有鉴于此，本发明提出了一种送料装置，包括：载台，用于承载待加工件；第一驱动组件，载台承载于第一驱动组件上，第一驱动组件用于带动待加工件相对载台进行分离运动；取料组件，取料组件能够接近或远离载台，取料组件用于带动分离于载台的待加工件运动。

本发明提供的送料装置包括：载台、第一驱动组件和取料组件；待加工件放置于载台上，第一驱动组件驱动待加工件与载台分离，使得载台不易对待加工件产生干涉，取料组件能够取走分离于载台的待加工件，能够理解的是，第一驱动组件带动待加工件移动至预定位置，取料组件接近载台的过程中经过预定位置，从而取走预定位置的待加工件，取料组件带动待加工件移动，从而可以将待加工件送入工艺腔室内进行加工，在此过程中，可以将相关技术的铝载板始终放置于工艺腔室内，铝载板不需要带动待加工件进出工艺腔室，保证铝载板的表面温度不易发生变化，从而避免铝载板表面温度不均匀而对待加工件的品质产生影响，而且本申请中通过第一驱动组件和取料组件相配合，从而自动将待加工件送入工艺腔室内，提高将待加工件放入工艺腔室的自动化程度和便利性。

另外，取料组件可以带动待加工件移出工艺腔室，具体地，可以在工艺腔室内同样设置第一驱动组件，从而将铝载板上的待加工件分离于铝载板，待加工件加工完成后，第一驱动组件带动加工后的加工件移出工艺腔室。

另外，根据本发明提供的上述技术方案中的送料装置，还可以具有如下附加技术特征：

在一种可能的设计中，载台上设有通孔；第一驱动组件包括：承载件，用于承载载台；滑动件，被配置为能够相对承载件移动；送料装置还包括：支撑板，连接于滑动件；驱动柱，设置于支撑板上，至少部分驱动柱能够穿过通孔，以将待加工件抬高于载台。

在该设计中，第一驱动组件包括：承载件和滑动件，滑动件能够相对承载件移动，具体地，滑动件能够接近或远离载台，滑动件带动支撑板移动，支撑板对驱动柱起到承载作用，使得支撑板带动驱动柱沿接近或远离载台的方向移动，载台上设有通孔，驱动柱被驱动过程中能够穿过通孔，待加工件放置于通孔处，驱动柱穿过通孔并将待加工件抬高于载台，实现待加工件与载台的分离过程，驱动柱将待加工件抬高至预定位置，取料组件经过预定位置并将待加工件取走，从而能够带动待加工件进出工艺腔室。

另外，通孔的数量可以为至少两个，驱动柱的数量与通孔的数量一致，使得取料组件能够同时带动批量待加工件移动，有效提高工作效率。

在一种可能的设计中，送料装置还包括：第二驱动组件，第二驱动组件连接于承载件，第二驱动组件能够带动第一驱动组件进行升降。

在该设计中，第二驱动组件能够驱动第一驱动组件升降，从而使得载台在第一驱动组件的带动下也能够实现升降。