[发明专利]一种环形剪切压电加速度传感器结构及其制作方法

权利要求书

1.一种环形剪切压电加速度传感器结构，其特征在于，所述环形剪切压电加速度传感器结构包括有：

一底座，该底座的顶面中央处形成有一垂直于所述底座的安装柱，所述安装柱与底座的连接处形成有限位结构；

一圆环体状的形状记忆合金，该形状记忆合金外套于所述安装柱上，所述安装柱的外表面与形状记忆合金的内表面之间形成有间隙；

至少一压电晶体，所述压电晶体设置于所述安装柱与形状记忆合金之间，压电晶体的内表面和外表面均为圆弧面，所述压电晶体的内表面与所述安装柱的外表面贴合，所述压电晶体的外表面与所述形状记忆合金的内表面贴合，利用形状记忆合金受力收缩将压电晶体紧固在所述安装柱上。

2.如权利要求1所述的环形剪切压电加速度传感器结构，其特征在于，所述安装柱和形状记忆合金各焊接有一导线。

3.如权利要求1所述的环形剪切压电加速度传感器结构，其特征在于，所述限位结构为定位台阶。

4.如权利要求1所述的环形剪切压电加速度传感器结构，其特征在于，所述形状记忆合金为单程形状记忆合金。

5.如权利要求1所述的环形剪切压电加速度传感器结构，其特征在于，所述压电晶体的数量为2个。

6.如权利要求1所述的环形剪切压电加速度传感器结构，其特征在于，所述底座采用钛合金棒料制备。

7.一种环形剪切压电加速度传感器结构的制作方法，其特征在于，所述环形剪切压电加速度传感器结构的制作方法包括有步骤：

S1：制备底座，该底座的顶面中央处形成有一垂直于所述底座的安装柱，所述安装柱与底座连接处形成有限位结构；

S2：制备圆环体状的形状记忆合金；

S3：制备压电晶体，所述压电晶体的内表面和外表面均为圆弧面，压电晶体的内表面的圆弧度与所述安装柱外表面的圆弧度相匹配，压电晶体的外表面的圆弧度与所述形状记忆合金内表面的圆弧度相匹配；

S4：将压电晶体安装于底座的安装柱上，压电晶体的内表面与所述安装柱的外表面贴合；

S5：将形状记忆合金外套于压电晶体上，压电晶体的外表面与形状记忆合金的内表面贴合；

S6：对形状记忆合金施加一作用力，使形状记忆合金受力收缩将压电晶体紧固在所述安装柱上。

8.如权利要求7所述的环形剪切压电加速度传感器结构的制作方法，其特征在于，所述环形剪切压电加速度传感器结构的制作方法还包括有步骤S7：于所述安装柱和形状记忆合金上各焊接一导线。

9.如权利要求7所述的环形剪切压电加速度传感器结构的制作方法，其特征在于，所述步骤S1进一步包括：

S11：将备好的钛合金棒料切削加工成一圆盘状的底座，底座的顶面中央处留有一安装柱，所述安装柱与底座连接处留有限位结构；

S12：对安装柱的外表面进行研磨加工。

10.如权利要求8所述的环形剪切压电加速度传感器结构的制作方法，其特征在于，所述步骤S3进一步包括：

S31：压电晶体的成型烧制；

S32：对压电晶体的内表面和外表面进行研磨加工。