[发明专利]一种测量激光器远场发散角的方法及装置

说明书

本发明涉及一种测量激光器远场发散角的方法及装置，S1、确定X轴、Y轴及Z轴，以X Z形成测量平面，将激光器设在测量平面的原点，探测器的感光面朝向激光器的发光面；S2、探测器以Y轴进行转动，检测激光器的光强度，获得光斑直径，计算出垂直于结平面或者平行于结平面的远场发散角度；S3、将激光器旋转90°，探测器以Y轴转动，检测激光器发射的光强度，获得光斑直径，计算出平行于结平面或者垂直于结平面的远场发散角度；获得激光器的垂直发散角与水平发散角。通过将激光器旋转90°，实现利用同一方向探测器探测水平发散角与垂直发散角，完成不同方向的光强测定和远场发散角参数测试，简化测试方案，提高测试速度和稳定性。

技术领域

本发明涉及激光器参数的检测，尤其是涉及一种测量激光器远场发散角的方法及装置。

背景技术

对于半导体激光器，尤其是边发射激光器芯片，芯片发光区域为矩形，其发射的激光对应的远场光斑一般为椭圆。评估远场光斑的参数之一为远场发散角。其中垂直于发光区结平面的发散角为垂直发散角，平行于发光区结平面的发散角为水平发散角；在半导体激光器的应用场景中，作为泵浦光源的半导体激光器，其远场发散角大小影响泵浦激光器的封装工艺和出光效率。因此快速有效的评估激光光源的远场发散角，是一项非常重要的工作。

目前市面上常规的检测方式是，首先将激光器固定，之后通过探测器在平行于结平面以及垂直于结平面的测量平面内对光强度进行检测，得到激光光源的远场发散角，这种检测方式需要在两个平面分别进行测量，需要设定两个相互垂直的测量平面导致测量稳定性降低，测量速度变慢。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种测量激光器远场发散角的方法及装置，通过旋转的方式将两个测量平面变为一个，提高其测量的稳定性以及测量速度。

本发明解决其技术问题所采取的技术方案是：一种测量激光器远场发散角的方法，该方法的操作步骤为，

S1、在三维空间内确定X轴、Y轴以及Z轴，以X轴与Z轴形成测量平面，将激光器设置在测量平面的原点，探测器的感光面朝向激光器的发光面；

S2、在测量平面内，探测器以Y轴为轴心进行转动，探测器检测激光器发射的光强度，获得在测量平面内激光器发射的光斑直径，从而计算出垂直于结平面或者平行于结平面的远场发散角度；

S3、以Z轴为轴心将激光器旋转90°使得激光器的结平面旋转90°，探测器以Y轴为轴心进行转动，探测器检测激光器发射的光强度，获得在测量平面内激光器发射的光斑直径，从而计算出平行于结平面或者垂直于结平面的远场发散角度；获得激光器的垂直发散角与水平发散角。

进一步具体的，所述的探测器的移动路径为等半径的弧形。

进一步具体的，所述移动路径的半径为10cm～20cm。

进一步具体的，在所述的步骤S1中放入激光器前，分辨所述激光器结平面的位置，并将激光器的结平面平行或者垂直设于测量平面内。

进一步具体的，所述的激光器采用TO封装半导体激光器。

一种基于上述方法用于测量激光器发散角的装置，包括围绕Y轴转动的旋转平台、设置于旋转平台中心位置围绕Z轴旋转的旋转底座、设置于旋转底座上的激光器以及设置于旋转平台上的探测器，所述的旋转平台旋转带动探测器围绕Y轴旋转探测光强度，所述的旋转底座带动激光器实现90°旋转。

本发明的有益效果是：通过将激光器芯片旋转90°，实现利用同一方向的探测器探测水平发散角与垂直发散角，完成不同方向的光强测定和远场发散角参数测试，简化了测试方案，提高了测试速度和测试稳定性。

附图说明

图1是本发明的流程示意图；

图2是本发明测量AB两点间远场发散角的示意图；