[发明专利]一种用于扫描电镜样品仓的监控传感器

说明书

本发明公开了一种用于扫描电镜样品仓的监控传感器，涉及扫描电镜技术领域，包括摄像头模组、用于安装所述摄像头模组的法兰盘、用于所述摄像头模组后端密封的罩盖、以及连接所述摄像头模组的连接线；所述摄像头模组由控制板和固定于所述控制板上的镜头组成，所述镜头用于图像采集，所述控制板用于图像处理、图像控制和通信，所述连接线连接所述控制板输出接口；所述法兰盘固定于样品仓壳体上。本发明在高真空环境下运行且性能稳定，实现样品仓状态的实时监控，用于辅助样品的快速定位；与传统监控传感器相比，具有体积小、重量轻、结构简单、安装方便、性能可靠等优点。

技术领域

本发明涉及扫描电镜技术领域，具体是一种用于扫描电镜样品仓的监控传感器。

背景技术

扫描电子显微镜(简称扫描电镜)是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。扫描电镜在科研/企业单位的广泛应用推动了扫描电镜技术的更新换代，扫描电镜的功能性越来越强大，集成的专用型传感器也越来越多，监控传感器就是其中一种。监控传感器主要用于在黑暗环境、高真空环境、复杂电子环境下实时监控样品仓状态，用于辅助定位样品台。目前，集成于扫描电镜的监控传感器体积大，价格昂贵，安装更换麻烦，控制结构复杂且功能不强大。

发明内容

针对上述问题，本发明提供一种结构简单、性能可靠的用于扫描电镜样品仓的监控传感器。

一种用于扫描电镜样品仓的监控传感器，包括摄像头模组、用于安装所述摄像头模组的法兰盘、用于所述摄像头模组后端密封的罩盖、以及连接所述摄像头模组的连接线；所述摄像头模组由控制板和固定于所述控制板上的镜头组成，所述镜头用于图像采集，所述控制板用于图像处理、图像控制和通信，所述连接线连接所述控制板输出接口；所述法兰盘固定于样品仓壳体上。

进一步，所述控制板上对称设置有多个红外LED，所述红外LED通过两根控制线外接用于控制其亮灭的控制端；所述控制线连接航空插座，所述连接线连接航空插头，所述控制线与所述连接线通过航空插头和航空插座的对接实现连接。

进一步，所述镜头的输出线通过连接线连接USB插头，用于连接计算机；所述输出线连接所述航空插座，所述输出线与所述连接线通过航空插头和航空插座的对接实现连接。

进一步，所述航空插座固定在所述罩盖上，所述航空插座与所述罩盖之间垫有密封垫。

进一步，所述法兰盘、所述罩盖、所述航空插座和所述航空插头均采用高密度不锈钢制成且壁厚较厚，所述航空插座和所述航空插头芯部采用玻璃粉末烧结而成。

进一步，所述镜头采用自动对焦镜头。

进一步，所述法兰盘外侧内嵌有O型密封圈。

本发明的有益效果：在高真空环境下运行且性能稳定，实现样品仓状态的实时监控，用于辅助样品的快速定位；与传统监控传感器相比，具有体积小、重量轻、结构简单、安装方便、性能可靠等优点；USB即插即用，自带驱动程序，方便快捷，连接计算机后，可为控制板供电，节省了控制板的供电模块，为摄像头模组的轻巧化、小型化提供方便。

附图说明

图1为用于扫描电镜样品仓的监控传感器的侧视结构示意图；

图2为用于扫描电镜样品仓的监控传感器的立体结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步详细的说明。本发明的实施例是为了示例和描述起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本发明限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本发明的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本发明从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。

实施例