[发明专利]可增强发射谱线强度的磁控溅射空心阴极灯有效

专利信息
申请号: 202010160324.7 申请日: 2020-03-10
公开(公告)号: CN111293032B 公开(公告)日: 2022-12-30
发明(设计)人: 张硕;姚子伟 申请(专利权)人: 国家海洋环境监测中心
主分类号: H01J61/067 分类号: H01J61/067;H01J61/09;H01J61/16
代理公司: 大连非凡专利事务所 21220 代理人: 闪红霞
地址: 116000 辽*** 国省代码: 辽宁;21
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 增强 发射 强度 磁控溅射 空心 阴极
【说明书】:

发明为一种可增强发射谱线强度的磁控溅射空心阴极灯,有灯管(1),在灯管(1)内设有筒状空心阴极(2)、环形阳极(3)及惰性气体(4),环形阳极(3)的内径大于筒状空心阴极(2),灯管(1)内部有至少20mT的恒定磁场(5),所述恒定磁场(5)N极与S极的垂直连线与筒状空心阴极(2)的轴线平行。通过恒定磁场控制电子以近似螺旋形轨迹飞向阳极,显著增大了电子在两极间的飞行距离,增加了与气体分子发生碰撞的几率,可产生更多的正离子轰击阴极表面,提高了空心阴极灯溅射率,增强空心阴极灯发射谱线强度,从而提高了检测灵敏度。

技术领域

本发明涉及一种空心阴极灯,尤其是一种可增强发射谱线的磁控溅射空心阴极灯。

背景技术

空心阴极灯(HCL)是原子荧光光谱分析中最常用的激发光源。现有空心阴极灯的结构是有灯管,在灯管内设有筒状空心阴极、环形阳极及惰性气体,环形阳极与筒状空心阴极同轴且内径小于或等于筒状空心阴极,惰性气体一般为几百帕的氩气或氖气。其主要原理是基于低压气体辉光放电现象,当阴阳极施加一定电压后,电子便在电场作用下飞向阳极,途中与灯内填充的氩气或者氖气原子碰撞而成为正离子,正离子从电场获得动能后撞击阴极,使原子从阴极表面溅射出来,溅射出的原子再与电子、原子、离子等发生第二类碰撞而受到激发,发射被测元素基态原子所吸收的特征共振线。可见,电子数量影响阴极溅射率,从而决定着空心阴极灯发射谱线强度,进而影响原子荧光光谱仪器灵敏度的重要指标。

当前,提高电子数量的手段主要集中于改进结构和改变供电方式两种途径。改进结构主要是在灯内增加易发射电子的辅助阴极,虽不影响空心阴极灯的使用寿命,但是提高了加工难度;改变供电方式主要是提高灯的瞬间功率或者平均功率,容易导致发射谱线强度波动、自吸甚至缩短使用寿命。

发明内容

本发明是为了解决现有技术所存在的上述技术问题,提供一种可增强发射谱线的磁控溅射空心阴极灯。

本发明的技术解决方案是:一种可增强发射谱线强度的磁控溅射空心阴极灯,有灯管,在灯管内设有筒状空心阴极、环形阳极及惰性气体,所述环形阳极的内径大于筒状空心阴极,所述灯管内部有至少20mT的恒定磁场,所述恒定磁场N极与S极的垂直连线与筒状空心阴极的轴线平行。

本发明通过恒定磁场控制电子以近似螺旋形轨迹飞向阳极,显著增大了电子在两极间的飞行距离,增加了与气体分子发生碰撞的几率,可产生更多的正离子轰击阴极表面,提高了空心阴极灯溅射率,增强空心阴极灯发射谱线强度,从而提高了检测灵敏度。无需在灯管内设置辅助阴极,结构简单、制作容易,同时本发明亦无需提高灯的瞬间功率或者平均功率,避免发生发射谱线强度波动、自吸及缩短使用寿命的现象。

附图说明

图1为本发明实施例结构示意图。

图2为本发明实施例的电子在电极间飞行轨迹示意图。

具体实施方式

本发明的一种可增强发射谱线强度的磁控溅射空心阴极灯如图1所示,同现有技术相同有灯管1,在灯管1内设有筒状空心阴极2、环形阳极3及惰性气体4,惰性气体4为小于10mmHg的氩气或氖气,与现有技术所不同的是环形阳极3的内径应大于筒状空心阴极2且在灯管1内尽可能大,灯管1内部有至少20mT的恒定磁场5,恒定磁场5N极与S极的垂直连线与筒状空心阴极2的轴线平行。形成恒定磁场5的方式有多种,可以如图1所示在灯管1外均匀缠绕磁感线圈6,通过控制通电电流使其在灯管1内部产生至少20mT的恒定磁场5,且恒定磁场5的N极与S极的垂直连线与筒状空心阴极2的轴线平行。亦可在灯管1的两侧设置永磁铁或电磁铁,此时永磁铁或电磁铁应设置在原子化器等接收池的后侧,避免影响光线接收。

工作原理:

空心阴极灯通电后,在两极间产生电场。由于环形阳极3内径大于筒状空心阴极2,则两极间的电场存在一个垂直于筒状空心阴极2纵轴的分量,分量大小与环形阳极3内径与筒状空心阴极内径之差成正比,电子在飞行过程中将受到此分量电场力的作用。同时,由于灯管1内的磁场方向平行于筒状空心阴极2的纵轴,电子在飞行过程中还将受到一个平行于环形阳极3平面的洛伦兹力。最终,电子在两个正交作用力下,将以如图2所示的近似螺旋形轨迹飞向环形阳极3。与常规空心阴极灯呈直线飞行的电子相比,电子在两极间的飞行距离显著增大,增加了与气体分子发生碰撞的几率,可产生更多的正离子轰击阴极表面,提高了空心阴极灯溅射率,增强空心阴极灯发射谱线强度。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于国家海洋环境监测中心,未经国家海洋环境监测中心许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010160324.7/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top