[发明专利]PECVD射频馈入电极系统及PECVD装置

说明书

本发明涉及化学气相沉积技术领域，具体公开了一种PECVD射频馈入电极系统及PECVD装置，该PECVD射频馈入电极系统包括射频电极片、第一电极、第二电极和两个通断控制组件，第一电极与第二电极的沿延伸方向呈夹角设置；通断控制组件包括静触端、动触端和驱动件，两个静触端均与射频电极片连接，且两个动触端分别与第一电极和第二电极连接，驱动件驱动动触端在第一位置和第二位置之间切换，可实现动触端与静触端连接或分离，因此通过对两个通断控制组件的动触端与静触端进行控制，无需拆装，即可使射频电极片与不同延伸方向第一电极或第二电极的单独连通，可有效提高工作效率。

技术领域

本发明涉及化学气相沉积技术领域，尤其涉及一种PECVD射频馈入电极系统。

背景技术

目前PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，等离子体增强化学气相沉积)射频馈入电极系统采用的工作电极的延伸方向通常为同一方向，较为常见的是处为水平方向或垂直方向。如若需要使PECVD射频馈入电极系统的工作电极在不同角度之间切换，需要将当前的工作电极拆卸，并更换为相应的的另一工作电极，步骤比较繁琐，且生产效率低下。

发明内容

本发明的目的在于：提供一种PECVD射频馈入电极系统及PECVD装置，以解决相关技术中的PECVD射频馈入电极系统的工作电极在不同角度之间切换时拆装步骤繁琐，且效率低下的问题。

一方面，本发明提供一种PECVD射频馈入电极系统，该PECVD射频馈入电极系统包括射频电极片、第一电极、第二电极和两个通断控制组件，所述第一电极的延伸方向与所述第二电极的延伸方向呈夹角设置；

所述通断控制组件包括静触端、动触端和驱动件，两个所述静触端均与所述射频电极片连接，且两个所述动触端分别与所述第一电极和所述第二电极连接，或者两个所述动触端均能与所述射频电极片连接，且两个所述静触端分别与所述第一电极和第二电极连接；

所述动触端具有第一位置和第二位置，所述驱动件与所述动触端连接，以驱动所述动触端在所述第一位置和所述第二位置之间切换，当所述动触端位于所述第一位置时，所述动触端与所述静触端连接，当所述动触端位于所述第二位置时，所述动触端与所述静触端分离。

作为PECVD射频馈入电极系统的优选技术方案，所述通断控制组件还包括与所述静触端连接的馈入电极，两个所述馈入电极分别与所述第一电极和所述第二电极连接，两个所述动触端均与所述射频电极片连接。

作为PECVD射频馈入电极系统的优选技术方案，所述PECVD射频馈入电极系统还包括绝缘材质制成的底座，各个所述馈入电极均固定于所述底座。

作为PECVD射频馈入电极系统的优选技术方案，所述动触端与所述静触端面接触。

作为PECVD射频馈入电极系统的优选技术方案，所述动触端和所述静触端中的一个包括插片，另一个包括插槽，当所述动触端位于所述第一位置时，所述插片与所述插槽插接，且所述插片与所述插槽的槽壁贴合。

作为PECVD射频馈入电极系统的优选技术方案，所述插槽由间隔且相对设置的两个弹性片形成，当所述动触端位于所述第一位置时，两个所述弹性片均能够抵紧所述插片。

作为PECVD射频馈入电极系统的优选技术方案，所述弹性片包括支撑片，以及连接于所述支撑片的弧形片，两个所述弹性片的所述弧形片之间形成所述插槽，当所述动触端位于所述第一位置时，两个所述弧形片均能够抵紧所述插片。

作为PECVD射频馈入电极系统的优选技术方案，两个所述动触端均能与所述射频电极片连接，且两个所述静触端分别与所述第一电极和第二电极连接，所述通断控制组件还包括弹性连接件，所述弹性连接件分别与所述动触端连接和所述射频电极片连接。