[发明专利]用于调整物镜与照明装置位置关系的方法、装置和光刻机

权利要求书

1.一种用于调整物镜与照明装置位置关系的方法，其特征在于，包括：

完成物镜的整机装调后，安装照明装置至整机上，初步调整所述照明装置与所述物镜之间的位置关系，以使得所述照明装置与所述物镜之间的初始安装位置满足预设的尺寸公差要求；

安装掩模台至整机上，调整所述掩模台与所述物镜之间的位置关系，以使得所述掩模台与所述物镜之间的安装位置满足预设的尺寸公差要求；

安装传感器至工件台的承载板上，调整所述传感器与所述承载板之间的位置关系，以使得所述传感器在所述承载板上的安装位置满足预设的尺寸公差要求；

安装工件台至整机上，调整所述工件台与所述物镜之间的位置关系，以使得所述工件台与所述物镜之间的安装位置满足预设的尺寸公差要求；

所述照明装置上电初始化并发出对准光束，所述对准光束通过所述掩模台的基准板上的对准孔，经所述物镜成像后在所述传感器上形成光斑；以及

通过所述传感器确定光斑的位置，根据所述光斑的位置，再次调整所述照明装置与所述物镜之间的位置关系以满足光轴的精度要求。

2.根据权利要求1所述的用于调整物镜与照明装置位置关系的方法，其特征在于，在安装照明装置至整机上之前，所述方法还包括：

在所述物镜的顶部安装顶板，所述顶板上设有用于供光束穿过的通孔。

3.根据权利要求2所述的用于调整物镜与照明装置位置关系的方法，其特征在于，所述初步调整所述照明装置与所述物镜之间的位置关系，以使得所述照明装置与所述物镜之间的初始安装位置满足预设的尺寸公差要求的步骤包括：

初步调整照明基板与所述顶板之间的垂向位置关系，以使得所述照明装置与所述物镜之间的初始安装位置满足预设的垂向尺寸公差要求；以及

初步调整所述照明基板与照明支架上的机械基准面之间的水平向位置关系，以使得所述照明装置与所述物镜之间的初始安装位置满足预设的水平向尺寸公差要求；

所述根据所述光斑的位置，再次调整所述照明装置与所述物镜之间的位置关系以满足光轴的精度要求的步骤包括：

根据所述光斑的位置，再次调整照明基板与所述顶板之间的垂向位置关系以及再次调整所述照明基板与照明支架上的机械基准面之间的水平向位置关系，以满足光轴的精度要求。

4.根据权利要求2所述的用于调整物镜与照明装置位置关系的方法，其特征在于，所述调整所述掩模台与所述物镜之间的位置关系，以使得所述掩模台与所述物镜之间的安装位置满足预设的尺寸公差要求的步骤包括：

调整所述掩模台与所述顶板之间的垂向位置关系，以使得所述掩模台与所述物镜之间的安装位置满足预设的垂向尺寸公差要求。

5.根据权利要求1所述的用于调整物镜与照明装置位置关系的方法，其特征在于，所述调整所述工件台与所述物镜之间的位置关系，以使得所述工件台与所述物镜之间的安装位置满足预设的尺寸公差要求的步骤包括：

调整所述工件台与主基板之间的垂向位置关系，以使得所述工件台与所述物镜之间的安装位置满足预设的垂向尺寸公差要求。

6.根据权利要求1所述的用于调整物镜与照明装置位置关系的方法，其特征在于，所述掩模台的基准板上设有相对设置的第一对准孔和第二对准孔；

所述照明装置发出对准光束，通过所述掩模台的基准板上的对准孔，经所述物镜成像后在所述传感器上形成光斑的步骤包括：

所述照明装置发出第一对准光束，通过所述掩模台的基准板上的第一对准孔，经所述物镜成像后在所述传感器上形成第一光斑；

水平移动所述工件台，以使得所述传感器与所述第二对准孔相对准；以及

所述照明装置发出第二对准光束，通过所述掩模台的基准板上的第二对准孔，经所述物镜成像后在所述传感器上形成第二光斑；

所述通过所述传感器确定光斑的位置，根据所述光斑的位置，再次调整所述照明装置与所述物镜之间的位置关系以满足光轴的精度要求的步骤包括：

通过所述传感器确定所述第一光斑和所述第二光斑的位置，根据所述第一光斑和所述第二光斑的位置，再次调整所述照明装置与所述物镜之间的位置关系以满足光轴的精度要求。