[发明专利]一种氟化镁波片元件的制作方法有效

专利信息
申请号: 202010148055.2 申请日: 2020-03-05
公开(公告)号: CN111497043B 公开(公告)日: 2022-04-05
发明(设计)人: 徐悟生;彭明林;张可生;周方;杨春晖 申请(专利权)人: 秦皇岛本征晶体科技有限公司
主分类号: B28D5/00 分类号: B28D5/00;B24B1/00;G02B5/30
代理公司: 北京汇智英财专利代理事务所(普通合伙) 11301 代理人: 郑玉洁
地址: 066012 河北省*** 国省代码: 河北;13
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摘要:
搜索关键词: 一种 氟化 镁波片 元件 制作方法
【权利要求书】:

1.一种氟化镁波片元件的制作方法,其特征在于,所述制作方法包括以下步骤:

S1、切割氟化镁晶体毛坯,得到短边为a、长边为b的长方形条状毛坯,所述a沿晶体柱面上的001方向,所述a的长度为波片成品直径加0~1mm,所述b的长度为波片成品直径加0.5~3mm;

所述步骤S1具体包括如下步骤:

S11、找出所述氟化镁晶体毛坯的(001)面,将所述(001)面磨平;

S12、将所述(001)面粘在内圆切割机的底座上,切割所述氟化镁晶体毛坯,使001方向厚度为a,所述a为波片成品直径加0~1mm;

S13、将所述氟化镁晶体毛坯旋转90°,再次切割所述氟化镁晶体毛坯,得到两边分别为a和b的长方形条状毛坯,所述b为波片成品直径加0.5~3mm;

S2、将所述长方形条状毛坯沿(100)面切出与成品厚度相同的长方形薄片;

S3、将所述长方形薄片在外圆磨床上粗磨,磨具的中心点与毛坯片长边中心对应,将直径磨到所需尺寸。

2.根据权利要求1所述的氟化镁波片元件的制作方法,其特征在于,所述氟化镁晶体毛坯为提拉法生长的100方向氟化镁单晶。

3.根据权利要求1所述的氟化镁波片元件的制作方法,其特征在于,找出所述(001)面使用的是具有三维旋转台的X射线定向仪。

4.根据权利要求3所述的氟化镁波片元件的制作方法,其特征在于,采用“十”字定向法准确定出(001)面。

5.根据权利要求1所述的氟化镁波片元件的制作方法,其特征在于,所述S2包括步骤:

S21、找出所述氟化镁晶体毛坯的(100)面,将所述(100)面磨平;

S22、将所述(100)面粘在内圆切割机的底座上;

S23、将所述长方形条状毛坯沿(100)面切出成品厚度相同的长方形薄片。

6.根据权利要求5所述的氟化镁波片元件的制作方法,其特征在于,找出所述(100)面使用的是具有三维旋转台的X射线定向仪。

7.根据权利要求6所述的氟化镁波片元件的制作方法,其特征在于,采用“十”字定向法准确定出(100)面。

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