[发明专利]一种电子级四甲基氢氧化铵的检测系统

说明书

本发明提供了一种电子级四甲基氢氧化铵的检测系统，所述电子级四甲基氢氧化铵的检测系统包括进样单元、检测单元与控制单元；所述检测单元与进样单元连接，在控制单元的控制下检测样品的色度、TMAH与CO₃^‑浓度、Cl^‑浓度、甲醇浓度、杂质离子浓度以及颗粒数；所述电子级四甲基氢氧化铵的检测系统操作简单，能够快速对电子级四甲基氢氧化铵产品中的各项参数进行测定，提高了电子级四甲基氢氧化铵产品的检测效率。

技术领域

本发明属于化学分析技术领域，涉及一种四甲基氢氧化铵的检测系统，尤其涉及一种电子级四甲基氢氧化铵的检测系统。

背景技术

四甲基氢氧化铵(TMAH)，结构分子式为(CH₃)₄NOH，分子量为91.15，是一种与苛性碱同等强度的强碱。由于其具有强碱性，同时加热分解后不残留任何物质，尤其是不留下可导电的离子物质，因此，TMAH在电子工业领域有着广泛的应用，例如，用作硅晶片制作中的清洗剂以及集成电路、液晶面板、印刷电路板的光刻显影液等。随着大规模集成电路的不断发展，对电子级TMAH的需求量日益增大，同时，对电子级TMAH的质量有了更高的要求。

国内外市场上的TMAH产品包括工业级与电子级两大类，工业级与电子级的四甲基氢氧化铵的标准有很大不同。由于痕量碱金属都会影响到电路的操作，因此电子级四甲基氢氧化铵中的离子含量必须很低。

目前，工业上制备电子级TMAH都是通过离子膜电解法来生产的，所用的原料主要有两种，一种是四甲基碳酸氢铵，另一种是四甲基氯化铵，四甲基碳酸氢铵电解生产TMAH时，产品中的杂质阴离子主要含有CO₃^2-以及NO₃^-，四甲基氯化铵生产TMAH时，产品中的杂质阴离子主要含有Cl^-与NO₃^-，电解四甲基碳酸氢铵为原料电解生产TMAH，有效的避免了产品中杂质Cl^-的存在，因此工业生产中，通过四甲基碳酸氢铵进行离子膜电解生产电子级TMAH为主流方法。

CN 203429266 U公开了一种电子级四甲基氢氧化铵的生产装置，原料进入电解槽之前首先通过阴、阳离子交换树脂塔进行脱除离子处理，然后进入离子膜电解槽进行电解，从阴极室出来的TMAH产品通过过滤器脱除颗粒杂质；CN103388155 A公开了一种连续制备四甲基氢氧化铵的方法和装置；CN 102206832A公开了一种电解槽较为复杂的双模三室双模电解槽来制备电子级四甲基氢氧化铵的方法；CN 20452993 U公开了一种制备四甲基氢氧化铵的电解装置，包括电解槽，包括电解槽、四甲基碳酸氢铵中间储罐、过滤器和产品储罐。上述现有技术均能够制备电子级TMAH，但缺乏对电子级TMAH产品的检测。

GB/T-37403-2019规定的技术指标中，对电子级四甲基氢氧化铵产品的色度、TMAH的浓度、CO₃^-浓度、Cl^-浓度、甲醇浓度、颗粒数以及锂、硼、钠、镁、铝、钾等离子的浓度都有严格的规定，其中对于电子级四甲基氢氧化铵的检测项目繁多，这就造成了对电子级四甲基氢氧化铵进行检测的方法较为繁琐，操作复杂。

因此，提供一种操作简单且灵敏度高，能够对电子级四甲基氢氧化铵产品中各指标进行快速检测的装置，对于提高电子级四甲基氢氧化铵的检测效率具有重要的意义。

发明内容

本发明的目的在于提供一种电子级四甲基氢氧化铵的检测系统，所述检测系统能够对电子级四甲基氢氧化铵产品中的色度、TMAH与CO₃^-浓度、Cl^-浓度、甲醇浓度、杂质离子浓度以及颗粒数进行检测，且操作简单、检测快速，能够提高电子级四甲基氢氧化铵产品的检测效率。

为达到此发明目的，本发明采用以下技术方案：