[发明专利]一种多路高精度高压电源

说明书

本发明公开了一种多路高精度高压电源，属于电子源技术领域，包括至少4路分支电源，分别为第一分高压电源、第二分高压电源、第三分高压电源与低压电源，所述第二分高压电源、所述第三分高压电源与所述低压电源均与所选第一分高压电源连接并悬浮于其上，所述第一分高压电源与所述低压电源分别与微焦点X射线源的灯丝两端连接；所述第二分高压电源、所述第三分高压电源分别与微焦点X射线源的两组电极连接，组成静电透镜。本发明的各支路电源均可精确控制，从而实现对微焦点X射线源发射出的电子束的精确控制。

技术领域

本发明涉及电子源技术领域，具体涉及一种多路高精度高压电源。

背景技术

微焦点X射线源广泛应用于无损检测领域，其发出的X射线穿透被检测样品后在探测器上成像，生成被检测物内部的组织结构，实现对被检测物的缺陷检测等。微焦点X射线源的焦点小，成像分辨率高，可实现对检测物的高清晰成像。

一般微焦点X射线源由阴极(灯丝)、电磁透镜组成。目前市面上的用于微焦点X射线源的高压电源多为一路高压电源和一路灯丝电源组成，电子束聚焦通过磁透镜完成。但是对于电子透镜为静电透镜、电子束发射为场发射式、源中心单亮斑的应用场景，并没有对应且方便使用的高压电源。基于静电透镜的微焦点X射线源，一般由灯丝、阴极、第一阳极、第二阳极组成，各极均需要高压或低压供电，且对各路电源稳定度纹波要求高以保证微焦点X射线源的聚焦、亮度等性能。为此，提供一种多路高精度高压电源。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于：为基于静电透镜式场发射式微焦点X射线源提供电源，该电源为多路高精度高压电源，其各支路电源均可精确控制，从而实现对微焦点X射线源发射出的电子束的精确控制，提供了一种多路高精度高压电源。

本发明是通过以下技术方案解决上述技术问题的，本发明包括至少4路分支电源，分别为第一分高压电源、第二分高压电源、第三分高压电源与低压电源，所述第二分高压电源、所述第三分高压电源与所述低压电源均与所选第一分高压电源连接并悬浮于其上；

所述第一分高压电源用于加速从微焦点X射线源的灯丝发射出的电子，所述第二分高压电源用于与所述第三分高压电源组成静电透镜，所述低压电源用于对微焦点X射线源的灯丝进行热处理；

所述第一分高压电源与所述低压电源分别与微焦点X射线源的灯丝两端连接；所述第二分高压电源、所述第三分高压电源分别与微焦点X射线源的两组电极连接，组成静电透镜。

更进一步的，所述高精度高压电源除包括至少4路分支电源，除上述第一分高压电源、第二分高压电源、第三分高压电源、低压电源之外，还可包括第四分高压电源，如一路负高压电源，所述负高压电源与所述第一分高压电源连接并悬浮于其上，用于为微焦点X射线源的压缩极供电。

更进一步的，通过调节所述负高压电源的电压可调节电子束的发射张角。

当然，根据用户需求，电源路数还可以增加，在此不做限定。

更进一步的，通过调节所述第二分高压电源的输出电压与所述第三分高压电源的输出电压可实现在第一分高压电源的不同输出电压下对电子束进行静电聚焦。

更进一步的，通过调节所述高精度高压电源各路输出可使微焦点X射线源的灯丝稳定发射电子、静电透镜聚焦性能稳定。

更进一步的，所述高精度高压电源的纹波系数小于等于0.5％。

更进一步的，通过调节所述低压电源的电源参数可实现对灯丝的连续热处理或者脉冲热处理。

更进一步的，所述连续热处理指可设定电压和电流对灯丝进行处理，且低压电源工作在恒流模式；所述脉冲热处理指可设定电压、电流、脉冲频率、占空比、脉冲个数对灯丝进行处理，电流波形上升沿下降沿时间不超过10ms，在高电平输出时，所述低压电源工作在恒流模式。