[发明专利]一种单晶炉加料系统在审
申请号: | 202010140576.3 | 申请日: | 2020-03-03 |
公开(公告)号: | CN113337884A | 公开(公告)日: | 2021-09-03 |
发明(设计)人: | 张永辉;李侨;赵阳;赵鹏;刘文斌;任杰 | 申请(专利权)人: | 隆基绿能科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/02 | 分类号: | C30B15/02;C30B29/06 |
代理公司: | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人: | 莎日娜 |
地址: | 710100 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 加料 系统 | ||
1.一种单晶炉加料系统,其特征在于,所述单晶炉加料系统包括:单晶炉和加料装置;其中,
所述单晶炉包括炉体、保温层、坩埚以及止挡件,所述保温层设置在所述炉体内,所述坩埚设置在所述保温层内,所述炉体上开设有第一加料口,所述保温层与所述第一加料口相对的位置设置有第二加料口,所述第二加料口处可活动设置有止挡件,所述止挡件用于遮挡所述第二加料口;
所述加料装置包括输料件,所述输料件可活动穿设在所述第一加料口和所述第二加料口内。
2.根据权利要求1所述的单晶炉加料系统,其特征在于,所述单晶炉还包括:热屏和控制机构;其中,
所述热屏可活动设置在所述炉体内,所述控制机构分别与所述热屏、所述止挡件连接,所述控制机构用于,控制所述热屏和所述止挡件活动。
3.根据权利要求2所述的单晶炉加料系统,其特征在于,所述单晶炉还包括:隔热元件;其中,
所述隔热元件悬设于所述热屏下沿的中间位置。
4.根据权利要求1所述的单晶炉加料系统,其特征在于,所述止挡件可活动设置在所述保温层的外侧;
所述保温层的外侧设置有卡槽,所述止挡件上设置有卡扣;
在所述止挡件遮挡所述第二加料口的情况下,所述卡扣与所述卡槽卡接。
5.根据权利要求1所述的单晶炉加料系统,其特征在于,所述保温层包括内保温层和外保温层,所述外保温层可活动设置在所述内保温层的外侧,所述外保温层设置在所述炉体与所述内保温层之间;
所述第二加料口开设于所述内保温层,部分所述外保温层形成所述止挡件。
6.根据权利要求1所述的单晶炉加料系统,其特征在于,所述保温层包括相对间隔设置的第一保温层和第二保温层,所述止挡件可活动卡设于所述第一保温层和所述第二保温层之间;
所述第二加料口开设于所述第一保温层和所述第二保温层。
7.根据权利要求1所述的单晶炉加料系统,其特征在于,所述第一加料口处设置有隔离阀;
所述炉体靠近所述隔离阀的位置设置有通气孔,所述通气孔用于向所述炉体内通入工作气体。
8.根据权利要求1所述的单晶炉加料系统,其特征在于,所述单晶炉加料系统还包括密封件,所述密封件的一端固定在所述加料装置上,所述密封件的另一端与所述炉体连接;
所述输料件穿设在所述密封件内,所述密封件用于密封包覆所述输料件。
9.根据权利要求1所述的单晶炉加料系统,其特征在于,所述加料装置上设置有移动组件,所述移动组件用于,推动所述输料件穿设在所述第一加料口和所述第二加料口内,或者,从所述第一加料口和所述第二加料口中移出。
10.根据权利要求1所述的单晶炉加料系统,其特征在于,所述加料装置还包括:加料筒、振动模组和重力传感器;其中,
所述加料筒用于容纳硅料,所述加料筒的出料口与所述输料件连通,以使所述硅料落入到所述输料件上;
所述振动模组与所述输料件连接,所述振动模组用于,带动所述输料件振动,并且将所述输料件上的硅料输送到所述坩埚中;
所述重力传感器安装在所述振动模组上,所述重力传感器用于,监测输送到所述坩埚中的硅料的重量。
11.根据权利要求1所述的单晶炉加料系统,其特征在于,所述单晶炉加料系统还包括:掺杂装置,所述掺杂装置穿设在所述加料装置内,所述掺杂装置的出料口通向所述输料件,用于将掺杂剂输送到所述输料件中,以使所述掺杂剂随同所述输料件传输到所述坩埚中。
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