[发明专利]切割芯片接合薄膜在审

专利信息
申请号: 202010139705.7 申请日: 2020-03-03
公开(公告)号: CN111647364A 公开(公告)日: 2020-09-11
发明(设计)人: 木村雄大;杉村敏正;大西谦司;宍户雄一郎;福井章洋;高本尚英 申请(专利权)人: 日东电工株式会社
主分类号: C09J7/24 分类号: C09J7/24;C09J7/29;C09J7/30;C09J133/08;C09J11/04;C09J11/08;H01L21/683
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人: 刘新宇;李茂家
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 切割 芯片 接合 薄膜
【权利要求书】:

1.一种切割芯片接合薄膜,其具备:

切割带,具有包含基材和粘合剂层的层叠结构,及

芯片接合薄膜,以可剥离的方式密合于所述切割带中的所述粘合剂层,

所述切割带中的所述粘合剂层侧的表面在对SUS平面在-15℃、剥离角度180°及剥离速度300mm/分钟的条件下的剥离试验中显示出0.3N/20mm以上的剥离粘合力。

2.根据权利要求1所述的切割芯片接合薄膜,其中,所述切割带在对宽度20mm的切割带试验片在初始卡盘间距离100mm、-15℃、及拉伸速度200mm/分钟的条件下进行的拉伸试验中,在应变值30%时产生的拉伸应力为50N/20mm以下。

3.根据权利要求1或2所述的切割芯片接合薄膜,其中,所述粘合剂层在-15℃下的储能模量为0.1MPa以上。

4.根据权利要求1或2所述的切割芯片接合薄膜,其中,所述粘合剂层在-15℃下的储能模量为100MPa以下。

5.根据权利要求1或2所述的切割芯片接合薄膜,其中,所述粘合剂层含有玻璃化转变温度为-40℃以下的聚合物。

6.根据权利要求1或2所述的切割芯片接合薄膜,其中,所述粘合剂层含有丙烯酸系聚合物及异氰酸酯系交联剂。

7.根据权利要求6所述的切割芯片接合薄膜,其中,所述粘合剂层中的异氰酸酯系交联剂的含量相对于丙烯酸系聚合物100质量份为0.1质量份以上。

8.根据权利要求6所述的切割芯片接合薄膜,其中,所述粘合剂层中的异氰酸酯系交联剂的含量相对于丙烯酸系聚合物100质量份为2质量份以下。

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