[发明专利]一种基于环形反射镜的高速调制器有效
| 申请号: | 202010137971.6 | 申请日: | 2020-03-03 |
| 公开(公告)号: | CN111290145B | 公开(公告)日: | 2023-07-18 |
| 发明(设计)人: | 胡志朋;邵斯竹;肖志雄;吴月;朱兴国;冯俊波;郭进 | 申请(专利权)人: | 联合微电子中心有限责任公司 |
| 主分类号: | G02F1/00 | 分类号: | G02F1/00;G02F1/015;G02F1/025;G02F1/19 |
| 代理公司: | 重庆中之信知识产权代理事务所(普通合伙) 50213 | 代理人: | 雷晕 |
| 地址: | 400030 重庆*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 基于 环形 反射 高速 调制器 | ||
1.一种基于环形反射镜的高速调制器,其特征在于,包括顺序连接的输入环形反射镜、调制臂和输出环形反射镜;调制臂两端的输入环形反射镜与输出环形反射镜之间形成谐振腔以加强光场能量密度;
所述调制臂至少包含具有PN结的信号传输波导和集总电极,所述集总电极设置于所述PN结的两侧,用于实现信号的高速调制;所述集总电极包含两个电极,所述两个电极无交叉设置于所述PN结的两侧,且其中一个电极覆盖所述PN结的P型掺杂区的部分上表面,另一个电极覆盖所述PN结的N型掺杂区的部分上表面。
2.根据权利要求1所述的一种基于环形反射镜的高速调制器,其特征在于,还包括输入模斑转换器和输出模斑转换器,所述输入模斑转换器设置于输入环形反射镜和调制臂之间;所述输出模斑转换器设置于调制臂和输出环形反射镜之间。
3.根据权利要求1所述的一种基于环形反射镜的高速调制器,其特征在于,还包括热调相器,所述热调相器设置于调制臂和输出环形反射镜之间,或-+者所述热调相器设置于输入环形反射镜和调制臂之间。
4.根据权利要求2所述的一种基于环形反射镜的高速调制器,其特征在于,还包括热调相器,所述热调相器设置于输出模斑转换器和输出环形反射镜之间,或者所述热调相器设置于输入环形反射镜和输入模斑转换器之间。
5.根据权利要求1所述的一种基于环形反射镜的高速调制器,其特征在于,所述输入环形反射镜、输出环形反射镜采用微环反射镜结构。
6.根据权利要求5所述的一种基于环形反射镜的高速调制器,其特征在于,所述输入环形反射镜和输出环形反射镜均包含定向耦合器。
7.根据权利要求1所述的一种基于环形反射镜的高速调制器,其特征在于,所述信号传输波导包括脊形波导、条形波导、L型波导中的其中一种。
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