[发明专利]一种激光蚀刻装置

权利要求书

1.一种激光蚀刻装置，其特征在于，所述激光蚀刻装置包括：

安装台；

激光蚀刻头，所述激光蚀刻头设置于所述安装台的底侧上；

防护件，所述防护件设置于所述安装台的底侧上，所述防护件围绕所述激光蚀刻头设置以形成吸尘腔；

吸气件，所述吸气件配设有吸气管，所述吸气管的进气端与所述吸尘腔连通。

2.根据权利要求1所述的激光蚀刻装置，其特征在于，所述吸气件位于所述防护件的外侧，所述吸气管贯穿所述吸气件侧壁与所述吸尘腔连通。

3.根据权利要求2所述的激光蚀刻装置，其特征在于，所述吸气管的进气端朝远离所述安装台的方向倾斜设置。

4.根据权利要求1所述的激光蚀刻装置，其特征在于，所述防护件包括至少两个沿远离所述激光蚀刻头方向依次排布的防护板，所述防护板围绕所述激光蚀刻头设置。

5.根据权利要求4所述的激光蚀刻装置，其特征在于，相邻两所述防护板之间形成防尘扩散腔，所述激光蚀刻装置还包括鼓气件，所述鼓气件配设有出气管，所述出气管的出气端与所述防尘扩散腔连通。

6.根据权利要求5所述的激光蚀刻装置，其特征在于，所述鼓气件设置于所述防护件的外侧，所述出气管贯穿所述防护板与所述防尘扩散腔连通。

7.根据权利要求5所述的激光蚀刻装置，其特征在于，所述出气管的出气端朝远离所述安装台的方向倾斜设置。

8.根据权利要求5所述的激光蚀刻装置，其特征在于，所述鼓气件配设有至少两根出气管，且所有所述出气管的出气端绕所述防护板的周侧分布。

9.根据权利要求4所述的激光蚀刻装置，其特征在于，所述防护板靠近所述安装台的一端的开口宽度大于所述防护板远离所述安装台的一端的开口宽度。

10.根据权利要求9所述的激光蚀刻装置，其特征在于，所述防护板包括设置于所述安装台上的本体以及安装于所述本体远离所述安装台的一端上的导气件，所述导气件的纵截面呈圆台状，所述导气件靠近所述安装台的一端的开口宽度大于所述导气件远离所述安装台的一端的开口宽度。